有机—金属真空热蒸镀仪（清采比选20251475号）废止公告
2025-09-02
北京 招标采购
有机—金属真空热蒸镀仪（清采比选20251475号）废止公告
北京-2025-09-02 00:00:00
北京-2025-09-02 00:00:00
有机—金属真空热蒸镀仪（清采比选********号）废止公告
发布时间：********** **:**:**阅读量：次
比选废止信息
| 比选废止理由： | 补充需求内容 无 | ||
|---|---|---|---|
| 采购项目名称 | 有机—金属真空热蒸镀仪 | 采购项目编号 | 清采比选********号 |
|---|---|---|---|
| 公告开始时间 | ********** **:**:** | 公告废止时间 | ********** **:**:** |
| 采购单位 | 清华大学 | ||
采购清单*
| 物资名称 | 采购数量 | 计量单位 |
|---|---|---|
| 有机—金属真空热蒸镀仪 | * | 台 |
| 品牌 品牌* | |
|---|---|
| 型号 | |
| 品牌* | |
| 型号 | |
| 品牌* | |
| 型号 | |
| 单价 | ￥***,***.** |
| 技术参数及配置要求 |
*、样品台 安装*** **×*** **的基片托盘，基片盘采用电机驱动旋转，旋转速度可调；提供一套掩膜板，样片与掩膜板的配合间隙小于*.* **；样片旋转和挡板采用磁流体密封，保证密封可靠性，通过软件控制。 *、蒸发源 共**组蒸发源，源与源之间配有防止交叉污染的防污板；配*套进口蒸发电源，用于蒸发金属和有机材料，可切换到*组蒸发源中任意*组。蒸发源电源具有恒流和恒压两种驱动模式，二者可切换。蒸发电源可以通过软件控制，还可以通过膜厚仪***（闭环控制）自动调节蒸发速率；有机和金属蒸发源均带有水冷功能。 *、膜厚测量系统 采用石英晶振膜厚仪实时测量膜厚，膜厚仪速率测量显示精度优于*.** Å/*，厚度精度优于* Å；频率分辨率*.** **。石英晶振探头*个，采用快速卡扣式结构。 *、蒸发腔体 腔体采用******不锈钢制作，腔体内表面精糙度≤*.*；外表面采用拉丝抛光，表面精糙度≤*.*；整体漏率优于*×***** **.**/*，保压** *，压强***;** **。 *、蒸镀真空系统 极限真空优于*.*×**** ****；主泵采用分子泵，抽速不低于*** */*；前级泵抽速不低于** **/*；气动高真空插板阀，通径≥*** **；带有旁抽式结构，可不停主泵开启真空室。相关的阀门操作具体互锁保护功能，防止误操作；腔体充氮气，从大气抽至*×**** ****所需时间要求***;** ***。 *、蒸镀软件控制系统 真空系统的控制通过软件或膜厚仪触摸屏完成蒸发电源的升温、降温和更换掩膜板的操作；带有伺服控制模块，可完成旋转速度，旋转角度，定位角度的控制。 |
| 质保期 | **个月 |
清华大学
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