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项目名称：北京怀柔实验室*** ****年第一批机电设备采购项目

招标项目编号：*****************

招标范围：磁控溅射仪作为核心工艺装备，将支撑超顺磁***材料的关键功能层制备与膜堆结构调控，需具备单溅射腔多靶位高精度切换能力（≥**个靶位）、优异的膜厚均匀性（≤*%，******）、超高薄膜沉积精度（*.****），优于**** ****的极限真空度、稳定的射频与直流溅射源、可控的成分调配系统以及低粒子污染的沉积环境，以实现膜层结构的高一致性与批次重复性，为高精度传感芯片的大规模开发和薄膜工艺优化提供坚实支撑。

招标机构：天恒招标有限公司

招标人：北京怀柔实验室

开标时间：********** **:**

公示开始时间：********** **:**

评标公示截止时间：********** **:**

中标候选人名单：无中标候选人