深圳医学科学院深紫外光刻机 (DUV)意向公开
2025-08-26
广东/深圳 招标采购
深圳医学科学院深紫外光刻机 (DUV)意向公开
广东/深圳-2025-08-26 00:00:00
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准
广东/深圳-2025-08-26 00:00:00
深圳医学科学院深紫外光刻机 (***)意向公开
********** **:**来源：
【打印】
深圳医学科学院深紫外光刻机 (***)意向公开
| 采购单位: | 深圳医学科学院 |
| 项目名称: | 深紫外光刻机 (***) |
| 预算金额（元）: | **,***,***.*** |
| 采购品目: | 其他光学仪器 |
| 采购需求概况: | 名称：深紫外光刻机（***） 主要功能：在光刻胶、薄膜等材料上加工微米至纳米级图形。 采购数量：*台 质量要求： 光源及照明系统：光源功率** *，光束传输小于等于** *,波长*** ** ，***激光技术和可变激光频率控制装置，将高激光功率与高效利用激光脉冲相结合。 投影系统：*.****.**可变数值孔径深紫外光投影透镜。 分辨率（******** *********）：≤*** ** *.** μ*分辨率下的**变化量： 密集线条：±*.* μ*离焦时 ≤** **；最佳焦平面时 ≤* ** 孤立线条：±*.** μ*离焦时 ≤** **；最佳焦平面时 ≤* ** 曝光视场均匀性：≤*.* % 单台设备套刻精度（************** *******）：≤** ** 匹配设备间套刻精度（*************** *******）：≤** ** 运动平台移动重复性：≤* ** 曝光剂量重复性：≤ *.*%,？当剂量≥** **/***时 曝光剂量准确性：≤ *%,？当剂量≥** **/***时 焦平面测量重复性(*******)：≤** ** 光罩交换时间：≤** * 颗粒物增加数：≤* 作业间等待时间：≤** * 在** **/***曝光计量下，产能≥*** *** 服务要求 *.安装与培训调试： 供应商需提供专业的安装调试服务，提供全面的操作培训和维护培训， 确保设备正常运行。 *.售后服务： 提供*年保修服务。 保修期内免费提供维修和更换服务。 提供**小时技术支持热线，快速响应故障报修。 设备供应商须提供不少于***小时的技术工时支持（***** **** ****）。 安全要求：设备需符合相关国标电器安全标准（如**认证）。 时限要求：合同签订后**个月内完成交货。 |
| 联系人: | 张老师 |
| 联系电话: | ************* |
| 预计采购时间: | ******* |
| 备注: | 无 |
