标的名称：*******电子束蒸发系统

标的数量：*

主要功能或目标：满足国家级物理实验教学示范中心、教育部基础学科拔尖学生培养计划*.*的教学实验平台建设需求。该设备在高真空状态下由电子束加热坩埚中的金属，使其熔融后蒸发到所需基片上形成金属膜，是半导体微纳加工设备之一。

需满足的要求：*.优质******不锈钢材料的主腔体和过渡腔体。 *.采用进口涡旋分子泵和涡旋干泵本底真空优于********。 *.***基距：＞*****。 *.电*型电子枪，工作真空********； 配*穴直冷式坩埚。 *.高精度膜厚控制仪，厚度和速率分辨率/测量：±*.*** Å，速率显示：*.** Å/秒。 *.设备可升级高通量掩模版，通过掩膜板的运动在基片上实现连续二元和三元组分薄膜沉积。