激光直写光刻机（清采比选20251452号）采购公告
2025-08-22
北京 招标采购
激光直写光刻机（清采比选20251452号）采购公告
北京-2025-08-22 00:00:00
北京-2025-08-22 00:00:00
激光直写光刻机（清采比选********号）采购公告
发布时间：********** **:**:**阅读量：次
| 采购项目名称 | 激光直写光刻机 | 采购项目编号 | 清采比选********号 |
|---|---|---|---|
| 公告开始时间 | ********** **:**:** | 公告截止时间 | ********** **:**:** |
| 对外联系人 | 本项目不接受咨询 咨询通道已关闭 | 联系电话 | 本项目不接受咨询 咨询通道已关闭 |
| 签约时间要求 | 成交后**个工作日内 (如不按时签订合同，采购单位有权取消或变更采购结果) | 交货时间要求 | 签订合同后**个工作日内 |
| 采购单位 | 清华大学 | ||
| 最高限价 | ￥***,***.** 未公布 | ||
| 国内合同付款方式 | 合同签订后**%，验收合格后**% | ||
| 交货地址 | 北京市清华大学逸夫科学技术楼 | ||
| 供应商特殊资质要求 |
无 |
||
采购清单*
| 物资名称 | 采购数量 | 计量单位 |
|---|---|---|
| 激光直写光刻机 | * | 台 |
| 品牌 品牌* | |
|---|---|
| 型号 | |
| 品牌* | |
| 型号 | |
| 品牌* | |
| 型号 | |
| 单价 | ￥***,***.** |
| 技术参数及配置要求 |
一、货物名称 无掩模版紫外光刻机，一台 二、技术要求 *.★光刻精度：最小线宽≤*.* µ*，光刻镜头工作距离≥** ** *.★具备交互式套刻指引功能 *.▲具备图像识别对焦功能 *.曝光波长：*** ** *.★数字掩模分辨率：≥**** × ****，微镜尺寸≤*.* ** *.显微观测：支持显微观测且不会引起光刻胶变性 *.▲支持最大样品厚度：≥* ** *.▲支持最大样品尺寸：≥** ** × ** ** *.★支持样品旋转 **.样品吸附：支持样品吸附 **.★设备软件： 原位光绘功能 物像绑定功能 成像拼接功能 畸变矫正功能 **.画图软件：支持阵列画图、套刻画图 注：带“★”号标记的条款为强制要求，带“▲”号标记的条款为重要指标，无标记条款为一般指标。 |
| 质保期 | **个月 |
清华大学
********** **:**:**
附件下载：
