主机规格：*****×*****×*****（*×*×*） 靶（上部电极）：****×*.***（*×*） 靶材：**（标配） 样品室：玻璃腔体*****×*****（*×*） 靶材尺寸：Ф**** 最高真空度：≤ ****** **** 最大电流：**** 定时器：数码计时****** 微型真空气阀：可连接φ***软管 可通入气体： 多种 最高电压： ***** *** 机械泵：标准配置**/*（国产*****） 速率：*******/***

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