苏州大学****年*月(第**批)政府采购意向公告

为便于供应商及时了解政府采购信息，根据《江苏省财政厅关于做好政府采购意向公开工作的通知》等有关规定，现将苏州大学****年*月(第**批)政府采购意向公告如下：

编号	项目名称	采购需求概况	采购预算 (万元)	预计采购月份	是否专门 面向中小 企业采购	是否采购 节能产品、 环境标志产品	备注
*	微纳加工系统	*、紫外纳米压印机：用于高精度微纳元件的制造。 *、磁流变抛光机：通过高速离子束撞击光学元件表面，实现元件表面的分子、原子级材料去除，实现面形超高精度修抛，能够实现对球面、平面、非球面、自由曲面等光学表面****/***λ(λ=***.***)以上精度的面形修抛，包含硬件及工艺软件；质保期不少于一年并提供后续的培训及软件更新。 *、机械臂抛光设备：通过机械臂带动抛光头按照规划路径进行化学物理抛光，实现平面、球面、非球面、自由曲面等光学面形的粗抛光及精抛光，达到面形精度*** */**λ(λ=***.***), 表面粗糙度优于*****，包含硬件及工艺软件；质保期不少于一年并提供后续的培训及软件更新。 *、光学定心车床：对光学元件进行高精度光学定心后，通过车削元件外框，实现外框的外圆与光学元件光轴的高度同心，同心度要求达到***，包含硬件及工艺软件；质保期不少于一年并提供后续的培训及软件更新。	***	*******	否	否
*	光刻系统	*、国产半自动高精度双面对准紫外光刻机：用于高精度对准光刻、灰度光刻的微纳加工设备，光刻特征线宽优于*.*微米，加工面积大于*****×*****。 *、超快激光精密测量系统：支持对超快激光的时域特性(脉宽、啁啾、脉冲形态)、空域特性(光束质量、光斑分布)、频域特性(光谱带宽、中心波长)及热域特性等进行综合测量，为超快光学研究提供完整的数据支撑；提供全面的安装调试和操作培训，能快速响应并在规定时间内解决故障。 *、高精度**无掩膜光刻设备：用于亚微米特征尺寸微纳结构图案的无掩膜光刻制备。 *、射频离子源：专门制作全息离子束刻蚀光栅的设备。同时，射频离子源相比其他离子源（如考夫曼离子源），具有更好的束流均匀性和准直性，可以使用更多的反应气体，特别是可以使用氧气进行光刻胶的灰化处理。 *、直流中和射频离子源：在射频离子源功能基础上，直流中和射频离子源具有更大宽度均匀区，通过扫描刻蚀可以实现大面积刻蚀。	***	*******	否	否

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

苏州大学

****年**月**日