广东工业大学半导体微纳加工研发及服务平台工艺设备二次配系统采购项目的合同公告
2025-08-19
江苏/苏州
中标结果
广东工业大学半导体微纳加工研发及服务平台工艺设备二次配系统采购项目的合同公告
江苏/苏州-2025-08-19 00:00:00
广东工业大学半导体微纳加工研发及服务平台工艺设备二次配系统采购项目的合同公告

发布机构:广东工业大学发布时间:********** **:**:**

项目编号:*****************

一、合同编号

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二、合同名称

半导体微纳加工研发及服务平台工艺设备二次配系统采购项目

三、项目编号

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四、项目名称

半导体微纳加工研发及服务平台工艺设备二次配系统采购项目

五、合同主体

采购人(甲方):广东工业大学

地址:广州市广州大学城外环西路***号

联系方式:************

供应商(乙方): 江苏融科装备科技有限公司

地址:苏州吴中经济开发区南官渡路***号旺金商务广场办公楼十一楼

联系方式:***********

六、合同主要信息

主要标的:

序号 名称 数量(单位) 单价(元) 总价(元)
* 镀膜*等离子增强化学气相沉积***二次配系统 *(套) ***,***.** ***,***.**
* 光刻*金相显微镜*二次配系统 *(套) *,***.** *,***.**
* 刻蚀*等离子刻蚀*二次配系统 *(套) ***,***.** ***,***.**
* 刻蚀*去胶机*二次配系统 *(套) **,***.** **,***.**
* 刻蚀*等离子清洗机*二次配系统 *(套) **,***.** **,***.**
* 刻蚀*光学显微镜二次配系统 *(套) *,***.** *,***.**
* 本科*黄光间通风橱*二次配系统 *(套) **,***.** **,***.**
* 本科*光刻机***二次配系统 *(套) **,***.** **,***.**
* 本科*光刻机***二次配系统 *(套) **,***.** **,***.**
** 本科*光刻机***二次配系统 *(套) **,***.** **,***.**
** 本科*热蒸发镀膜*二次配系统 *(套) *,***.** *,***.**
** 镀膜*电子束蒸发系统***二次配系统 *(套) **,***.** **,***.**
** 本科*氧化扩散炉*二次配系统 *(套) **,***.** **,***.**
** 刻蚀*尾气预处理设备***二次配系统 *(套) **,***.** **,***.**
** 镀膜*尾气预处理设备***二次配系统 *(套) **,***.** **,***.**
** 毒腐气体间*尾气预处理设备***二次配系统 *(套) **,***.** **,***.**
** 化学品暂存间*大化学品柜*二次配系统 *(套) **,***.** **,***.**
** 化学品暂存间*化学品管理系统*二次配系统 *(套) *,***.** *,***.**
** 工艺辅房**小化学品柜*二次配系统 *(套) **,***.** **,***.**
** 工艺辅房**冰箱*二次配系统 *(套) *,***.** *,***.**
** 工艺辅房**化学品管理系统*二次配系统 *(套) *,***.** *,***.**
** 二更*洁净室衣柜*二次配系统 *(套) *,***.** *,***.**
** 镀膜*电子束蒸发系统***二次配系统 *(套) **,***.** **,***.**
** 二更*洗手台*二次配系统 *(套) *,***.** *,***.**
** 镀膜*等离子增强化学气相沉积***二次配系统 *(套) ***,***.** ***,***.**
** 湿法*通风柜(普通)*二次配系统 *(套) **,***.** **,***.**
** 湿法*单片清洗系统*二次配系统 *(套) **,***.** **,***.**
** 湿法*甩干机*二次配系统 *(套) **,***.** **,***.**
** 湿法*清洗系统(四槽)*二次配系统 *(套) **,***.** **,***.**
** 湿法*清洗系统 (双槽,去胶)*二次配系统 *(套) **,***.** **,***.**

合同金额: *,***,***.**元,大写金额:壹佰肆拾陆万壹仟捌佰元整

履约期限:****年**月**日至****年**月**日

履约地点:广州市番禺区

采购方式:公开招标

七、合同签订日期

****年**月**日

八、合同公告日期

****年**月**日

九、其他补充事宜

合同附件:

*.采购合同公告附件.***

广东工业大学

****年**月**日

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