[HF20252201]基于高能激光制造技术的传感器超精密加工成交公告
2025-08-15
湖北/武汉 中标结果
[HF20252201]基于高能激光制造技术的传感器超精密加工成交公告
湖北/武汉-2025-08-15 00:00:00
湖北/武汉-2025-08-15 00:00:00
[**********]基于高能激光制造技术的传感器超精密加工成交公告
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*.项目名称：基于高能激光制造技术的传感器超精密加工
*.成交供应商名称：广东空天科技研究院（南沙）
*.成交供应商地址：广州市南沙区前知路*号
*.成交金额(折合人民币)：******元
*.付款方式：合同签订后*个工作日之内预付合同金额的**%，服务完成且验收合格后*个工作日之内支付合同金额**%。
*.主要成交标的：
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序号 |
服务内容 |
服务期限 |
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使用高能激光切割技术对**张溅射了金属的聚酰亚胺薄膜进行超精密图案化加工，确保切割误差小于**微米，金属材质为铂 |
自合同签订之日起至****年*月**日 |
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使用高能激光束对***个传感器进行激光剥离，使传感器***牺牲层温度升高而产生翘曲变形，从而使传感器与硬质基底分离 |
自合同签订之日起至****年*月**日 |
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采用高能激光烧蚀技术对***个热流传感器的热电堆上方***薄膜进行表面处理，使热电堆冷热端上方***热阻层厚度不一致 |
自合同签订之日起至****年*月**日 |
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采用高能激光束对**张溅射了金属的聚酰亚胺薄膜进行双面超精密激光扫描制备电极和局部激光切割制备通孔，确保切割误差小于**微米，金属材质为铂 |
自合同签订之日起至****年*月**日 |
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采用高能激光切割技术对**张大于***微米的聚酰亚胺薄膜进行超精密图案化加工 |
自合同签订之日起至****年*月**日 |
华中科技大学智能制造装备与技术全国重点实验室
****年**月**日
