角度范围***°；最大速度**°/*；最小位移增量*.* ****；最大扭矩** *·*；中心负载能力**** *；单向重复精度，典型值±*.** ****；单向重复精度，保证值±*.* ****；双向重复精度，典型值±*.* ****；双向重复精度，保证值±*.* ****；精度，典型值±*.* ****；精度，保证值±*.* ****摆动，典型值±*.* µ***；摆动，保证值±*.* µ***偏心率，典型值±*.* µ*偏心率，保证值；±*.* µ*惯性*.* **.**横向顺应性*.* µ***/*·*；角度范围***°最大速度**°/*最小位移增量*.* ****；最大扭矩** *·*中心负载能力**** *单向重复精度，典型值±*.** ****单向重复精度，保证值±*.* ****双向重复精度，典型值±*.* ****双向重复精度，保证值±*.* ****精度，典型值±*.* ****；精度，保证值±*.* ****摆动，典型值±*.* µ***；摆动，保证值±*.* µ***；偏心率，典型值±*.* µ*偏心率，保证值±*.* µ*惯性*.* **.**

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命令集***+ *********, * ****** ***** ********；补偿****** ***** *** ******** ************；计算机接口********, ******；控制算法******* *** ***** **** **** ******** *** ************ **** *******；轮廓线** ********** **** ********** ****** *******, *********** ******** *******, ******* ******** *******；驱动方式******* ******* *** ***** ；**误差补偿******, *********** ；兼容性*** ***** *********；运动************ ** ** **, ** ****** *** ** ******** *************, ************, ********** *********

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设备类型************* (**********)；探测器直径*.* ** * **； 带宽** ***, * ***, *** ***；波长范围******** **；光输入**** *****；探头的材质*******探测器类型***最大转换增益*.******/*；最大跨阻抗增益**.******/*****.** **/√**

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输出阻抗* Ω (*************)工作温度范围**°* ** **°* (***;**% ******** **************)输出电压±** * (*% *********)输出数量** **** (**), ** ****** *****电流范围***;*** **

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类型********* *****；长度* *

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