标的名称：流片费用
数量/单位：*
预算金额（元）：******.**

采购目录：*********电子、通信与自动控制技术研究服
务

需实现的主要功能或者目标：****工艺流片

需满足的质量、服务、安全、时限等要求：（*）交付晶圆技术规格
①后道加工工艺：具备*** **工艺****器件后道加工能力。
②金属层参数：一层***金属层（**）。
③阻变层参数：阻变层在**与**之间。
（*）****器件参数：器件尺寸为*.*微米，器件间距大于等于*.*微米。
（*）流片面积：最大掩膜面积≥***平方毫米。
（*）*****数量：**片。
（*）晶圆交付方式：确认下单后***天内邮寄至采购人指定地点。
； 服务内容及标准：
（*）提供****工艺设计规则文档。
（*）根据采购人要求，提供****工艺流片服务。
（*）提供********过程中的技术支持。
；无；完成采购内的*个月内。