集成电路科学与工程学院*吋化学机械抛光研发耗材竞价结果公示

项目信息

项目名称

*吋化学机械抛光研发耗材

追踪号

************

采购单位名称

集成电路科学与工程学院

成交信息

成 交 价

******.**元

成交供应商

华海清科股份有限公司

采购清单

序号

名 称

规格型号

数量

*

二相流喷嘴

/*************

*件

*

抛光头晶圆保持环

/***********

**件

*

晶圆刷洗棒从动轮

/**********

*件

*

晶圆真空吸盘

/***************

*件

*

抛光头气膜

/***********

**件

*

聚乙烯醇晶圆刷洗棒

/*******

**件

*

晶圆刷洗棒驱动轮

/*.***********

**件

公示期从****年**月**日起至****年**月**日**:**止。
各供应商或者其他利害关系人对本项目的过程及结果有异议的，可在公示期内以书面形式（包括联系人、地址、联系电话）将意见反馈至北京航空航天大学集成电路科学与工程学院;
监督人：张老师，
联系方式： ************，
邮箱：*****@****.***.**。