高精密光学镀膜机系统（清采比选20251355号）采购公告
2025-08-09
北京
招标采购
高精密光学镀膜机系统（清采比选20251355号）采购公告
北京-2025-08-09 00:00:00
北京-2025-08-09 00:00:00
高精密光学镀膜机系统（清采比选********号）采购公告
发布时间：********** **:**:**阅读量：次
| 采购项目名称 | 高精密光学镀膜机系统 | 采购项目编号 | 清采比选********号 |
|---|---|---|---|
| 公告开始时间 | ********** **:**:** | 公告截止时间 | ********** **:**:** |
| 对外联系人 | 本项目不接受咨询 咨询通道已关闭 | 联系电话 | 本项目不接受咨询 咨询通道已关闭 |
| 签约时间要求 | 成交后**个工作日内 (如不按时签订合同，采购单位有权取消或变更采购结果) | 交货时间要求 | 签订合同后**个工作日内 |
| 采购单位 | 清华大学 | ||
| 最高限价 | ￥***,***.** 未公布 | ||
| 国内合同付款方式 | 合同签订后**%，发货前**%，验收合格后*个月内**% | ||
| 交货地址 | 科创十街**号院地下*层 | ||
| 供应商特殊资质要求 |
无 |
||
采购清单*
| 物资名称 | 采购数量 | 计量单位 |
|---|---|---|
| 高精密光学镀膜机系统 | * | 套 |
| 品牌 品牌* | 成都国泰 |
|---|---|
| 型号 | |
| 品牌* | |
| 型号 | |
| 品牌* | |
| 型号 | |
| 单价 | ￥***,***.** |
| 技术参数及配置要求 |
（*） 镀膜材料 高精密光学镀膜机应支持蒸发 **，**，**，****，**，****，****，***** 等镀膜材料进行光学膜层镀制，允许使用工艺气体 ** 和 **。 （*） 基板旋转系统及加热系统 基板旋转有由中心驱动，工作时的旋转速度可设定调整，自动镀膜时可自行切换工件旋转速度并能根据设定速度自动切换，加热系统配置温控仪，控制方式为*** 自动控制及显示，温度可编程控制，多组控制参数设定，设定最大烘烤温度≥***℃，温度可控可调。 （*） 蒸发源 蒸发源系统包括高压电源（速度脉冲额定技术，瞬时抑弧反应），灯丝电源（包括阴极加热，发射控制器），电子束偏转电源。完全整合入镀膜机自带控制系统，在坩埚表面提供一个可编辑的电子束光斑，在 * 和 * 方向点偏转扫描震动（图形模式），在设定的点位之间采用线性连接。配置 * 支 ***°* 型电子枪，可通过改变磁场，使电子束扫描整个膜料表面，避免了“挖坑”现象的出现。最大功率 ****，输出稳定性小于±*%，发射电流 ********，稳定性±*%。 配置有直冷坩埚，采用光电编码器对坩埚进行精确定位，配置电动转位和点动转位，能够实现自动正反转。 （*） 离子源 霍尔离子源可以通过轴向磁场使工艺气体等离子体化，轴向磁场的强烈不平衡将气体离子分离成离子束，离子源可以有效减少薄膜的微结构损伤和空隙，在合适的离子源参数下制备的薄膜具有质量好(硬、化学稳定、低应力)，致密度高等特性。霍尔离子源包括阳极结构，阴极中和器，流量计等，氩气流量计最大流量不低于 ** ****，氧气流量计最大流量不低于 ** ****。 （*） 膜厚监控系统 高精密光学镀膜机应配置膜层物理厚度监控系统，用于镀膜速率和膜厚测量，由系统控制，并通过显示器进行操作（包括输入设定参数，显示实际数据等）。常用的控制膜厚方法包括石英晶体监控，可自动记录蒸发速率，镀膜控制系统的主要性能包括自动熔料功能，自动镀膜功能，********* ******* 的 ******** 的设计数据变换功能，过程数据记录功能。该设备在光学镀膜工艺中可实现单层金属膜或介质膜 *%的膜厚均匀性（膜层厚度小于 ****，基底为 * 寸晶圆）。 |
| 质保期 |
清华大学
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