安徽/合肥-2025-08-08 00:00:00
中国科学技术大学湿法工艺台
同类项目：湿法工艺台***;更正公告
一、项目基本情况
原公告的采购项目编号：**************
原公告的采购项目名称：中国科学技术大学湿法工艺台
首次公告日期：****年*月*日
二、更正信息
更正事项：采购文件
更正内容：
我公司现对中国科学技术大学湿法工艺台招标文件做出如下更正。此次更正为招标文件的组成部分，具有同等效力。更正内容与招标文件不同之处，按本次更正内容执行。
项目更正内容如下：
*.现对采购需求中“*.*.*后道*光刻工艺台”技术参数进行调整，调整后的技术参数如下：
| *.*.*后道*光刻工艺台 |
|
| *.主要功能 |
涂胶、显影，需适配*英寸晶圆或对应光刻掩膜版。需整片能够正常涂胶显影。 |
| *.★电力 |
额定电压*** *，额定功率≤* **； |
| *.★尺寸 |
内宽：***;**** **； 加柜子外宽***;**** **； 外深：********* **；（所有工艺台的外深应统一） 内深：********* **； 外高：能够运入**** **高的通道 |
| *.可稳定维持温度范围 |
热板可维持室温****℃ |
| *.★匀胶机、显影机、热板 |
**旋涂匀胶机、**喷淋匀胶机、**热板、******箱，留出显影空间和清洗空间 |
| *.配件柜配置 |
须配置一个尺寸为高****.**，宽*********，深*********的配件柜。 |
| *.计时器配置 |
须配置一个精确到秒的计时器 |
| *.★废液排放（原液废料） |
有机排、碱排到厂务；所有厂务排放均向下（到地面） |
| *.★废液收集口 |
有机（含****，连到有机排）、***（连到碱排） |
| **.★废水（废液+大量水）排放 注：和废液不同 |
一般排、有机排、碱排到厂务（一般排水：不含有害化学品的废水** ***，其余*.* ***）；所有厂务排放均向下（到地面） |
| **.★废气排放 |
有机排、碱排、热排到厂务（每种*** ***）；所有厂务排放均向下（到地面） |
| **.台面材质 |
实心，防有机（不锈钢） |
| **.空白台面 |
需要 |
| **.★厂务**、**、市政水、工艺真空需求 |
**：可适应*.*****，可适应最大流量***/***，可适应平均流量*****/***； **：可适应最大流量*******； 所有资源接口均向下（到地面） |
三、其他补充事宜
无
四、凡对本次公告内容提出询问，请按以下方式联系。
*.采购人信息
名 称：中国科学技术大学
地 址：合肥市金寨路**号
联系方式：宣老师、沈老师 *************
*.采购代理机构信息
名 称：安徽省招标集团股份有限公司
地 址：合肥市紫云路***号
联系方式：应急客服电话：*************（接听时间：*:*****:**,**:*****:**，节假日除外。潜在供应商应优先拨打项目联系人联系电话，无人接听时再拨打该“应急客服电话”）
*.项目联系方式
项目联系人：刘志凌、张文奇、陈鹏飞（****室）
电 话：*************、********、********、***********
