浙江/杭州-2025-08-08 00:00:00
一、项目信息
采购人：西湖大学光电研究院
项目名称：特殊氮化硅硬掩膜硅基非标准特殊开槽晶圆级工艺
拟采购的服务说明：
序号 | 标项内容 | 数量 | 简要技术要求、用途 | 备注 |
* | 特殊氮化硅硬掩膜硅基非标准特殊开槽晶圆级工艺 | *项 | 进行研制特殊氮化硅硬掩膜硅基非标准特殊开槽晶圆级工艺 |
采用单一来源采购方式的原因及说明：
非易失相变调控器件采用特殊相变材料，对波导进行非易失相位调制，且方案不能对现有硅光***器件性能造成破坏，这需要非标准特殊开槽工艺进行加工流片，否则硅波导上方的氧化硅层将阻碍相变材料集成在波导上，而无法实现非易失调控。
*****具备****线宽能力、且可提供定制开槽工艺满足我方需求。主要包括后道工艺开发和前道工艺开发，其中后道工艺开发步骤主要是硅光全流程工艺之后开槽到氮化硅顶部;前道工艺开发具体工艺流程如下，先由*****完成前道集成到掺杂工艺，并完成光刻胶步骤;再寄回由我方完成相变和氧化硅晶圆制备;我方完成后再寄回*****完成后道及两层金属工艺开发。因此，中国科学院上海微系统与信息技术研究所(*****)工艺平台是唯一制造平台。
二、拟定供应商信息
序号 | 被邀请供应商 | 地址 |
* | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 | 上海市长宁区长宁路***号 |
三、公示期限
****年**月**日至****年**月**日。
四、其他补充事宜
本项目公告期限为*个工作日，供应商对该项目拟采用单一来源采购方式及其理由和相关需求有异议的，可以在公示期限内（截止时间为本公示发布之日后的第*个工作日），以书面形式向采购人提出异议。
五、联系方式
采购人名称：西湖大学光电研究院
地址：杭州市富阳区江南路**号*楼
联系人：王老师
联系方法：*************
附件信息:
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特殊氮化硅硬掩膜硅基非标准特殊开槽晶圆级工艺单一来源报告.*** (**.* *)
