*、乙方加工氮化硅超构透镜*片，其中每片超构透镜工作波长为*****，结构周期为*****，柱高*****，结构深宽比大于*:*，样品尺寸为*******正方形，超构透镜效率大于**%。 *、乙方加工硅超构透镜*片，其中每片超构透镜工作波长为******，结构周期为*****，柱高******，结构深宽比大于*:*，样品尺寸为*******正方形，超构透镜效率大于**%。 *、附加甲方人员微加工仪器操作培训，以熟练掌握必要流程，包括光刻机、*****、*******刻蚀、电子束蒸发等工艺。培训甲方人员*人次。 *、两片超构透镜样品完成与****成像传感器集成，可直接进行外景实物拍摄，若失败由乙方承担样品重新加工。

协助现场测试；按行业要求提供质保服务。