[HF20252116]大面积电子束曝光样品制备成交公告

2025-07-30

浙江/衢州

中标结果

[HF20252116]大面积电子束曝光样品制备成交公告
浙江/衢州-2025-07-30 00:00:00

*. 项目名称：大面积电子束曝光样品制备

*.成交供应商名称：探真纳米科技(衢州)有限公司

*.成交供应商地址：浙江省衢州市衢江区产智路*号**幢*****室

*.成交金额(折合人民币)：******元

*. 付款方式：合同签订后**个工作日之内预付合同金额的**%，服务完成且验收合格后**个工作日之内支付合同金额**%。

*.主要成交标的：

序号	服务内容	服务期限
*	（）共制备片大面积电子束曝光样品。样品衬底材料为石英玻璃，形状为正方形，边长介于* *和.* *之间。（）在每片衬底的中心区域，进行电子束曝光。电子束光刻胶选为******。曝光图案区域为直径 **的圆形，具体设计版图由甲方提供。	合同签订后*个月

华中科技大学光学与电子信息学院

****年**月**日