原子层沉积系统（SEU-ZB-250655）采购公告
2025-07-29
江苏/南京 招标采购
原子层沉积系统（SEU-ZB-250655）采购公告
江苏/南京-2025-07-29 00:00:00
江苏/南京-2025-07-29 00:00:00
原子层沉积系统（*************）采购公告
发布时间：********** **:**:**阅读量：**次
东南大学电子科学与工程学院原子层沉积系统采购公开招标公告
项目概况
东南大学
电子科学与工程学院原子层沉积系统
采购招标项目的潜在投标人
应在东南大学采购中心网（
*****://****.***.***.**/
）获取采购文件，并于
****
年
**
月
**
日
**
点
**
分
**
秒
（北京时间）
前递交投标文件
。
一、
项目基本情况
项目编号：
*************
项目名称：东南大学
电子科学与工程学院原子层沉积系统
采购
项目地点
:
东南大学
九龙湖校区
项目预算：人民币肆拾捌万元整（
¥
**
万元）
项目概况：电子科学与工程学院采购原子层沉积系统
*
套，主要技术要求
如下：
①
腔室：外热式单腔腔室，真空环境下无加热器，前驱体源不可以任何方
式接触加热器，反应腔室可放下最大
*
英寸晶圆；
②
反应温度：最高不超过
***°*
，温度控制精度
±*°*,
可以在≤
***°*
下制
备
****
；
③
标准加热液态前驱体源
*
路，配置
********
高温快速
***
阀（响应时间
＜
****
）、手动阀、
****
不锈钢源瓶，源瓶及管路加热温度
******°*
，控制精
度
±*°*
。
资金性质：财政性资金
合同履行期限：详见采购文件
本项目不接受联合体投标。
本项目不接受进口产品投标。
二、
申请人的资格要求：
*
.
具有独立承担民事责任的能力（提供法人或者其他组织的营业执照复印
件）。
*
.
投标供应商须提供法定代表人授权书原件、法定代表人身份
证
复印件、
授权代表身份
证
复印件
和
授权代表在公
司内近
*
个
月
内
的
社保缴纳证明
（如
果
是
法定代表人
直
接
参
与投标的可以不提供授权书）；
*.
本项目的
特
定资
格
要求：无。
*.
落实
政
府
采购政
策需满足
的资
格
要求：
非
专门面向
中
小企
业、
监狱企
业、
残疾
人
福利
性单
位
采购的项目。
三、获取招标文件
*.
本项目采购公告在中
国
政
府
采购网（
***.****.**
*
.**
）、东南大学采购
中心（
****.***.***.**
）、
云
采
通
（
***.
*
****
*
****.**
）
发布
，供应商如
确
定
参
加投标，须获取采购文件，
否则
投标无
效
。
时间：
***
*
年
*
*
月
**
日
至
***
*
年
**
月
**
日，
每天上午
**:**
至
**:**
，下
午
**:**
至
*
*
:**
（北京时间，法定
节假
日
除
外）
报
名方式：
线上报
名。
文件
售价
：人民币
***
元
/
套
请各
投标单
位根据
以下
步骤
进行
线上报
名、
缴费
、采购文件下
载
请
具备本项目资
格条
件的潜在供应商在东南大学采购中心网
（
*****://****.***.***.**/
）
上找到该
项目采购公告并点
击“我
要
报
名
”按
钮
进行
线上报
名。供应商
需根据
要求
注册登录
（如
注册登录
有
疑问
，
请
联系技
术
客服
：
************
），进行
缴费报
名，
报
名
成功后请
在
参
与的项目
处找到
相对
应的项目
后
下
载
采购文件（无须
再现场
购
买纸
质文件）。
*
.
投标人
自
行承担
所
有
参
与投标的有
关费用
。标书
费售后
不
退
，
缴费后请
在
费用
中心
*
发票申请框内申请发票
。
*.
报
名
截止后
如有
答疑澄清
及
相关图纸等材料将
以
邮
件
形
式统
一发送
电子
文
档至成功报
名潜在供应商单
位邮箱
。
四、提交投标文件截止时间、开标时间和地点
投标
截止
时间：
****
年
**
月
**
日
**
点
**
分
**
秒
（北京时间）
开 标 时 间 ：
****
年
**
月
**
日
**
点
**
分
**
秒
（北京时间）
地点：
江苏省
南京
市玄武
区
四牌楼
*
号东南大学
微波楼
***
室。
供应商须在递交投标文件
截止
时间前，
将
投标文件
密封好
，
逾
期
送达
或
未
密封
，
将被拒收
。快递
邮寄
（
建议
：
顺丰
或
*
*
*
），
江苏省
南京
市玄武
区
四牌
楼
*
号东南大学
微波楼
***
室
邮
编：
******
陈
工
***;
收
***;
联系方式：
****
**
*
*****
供应商应
充
分
考虑
投标文件
邮寄
在
途
时
长
，以及
注重
文件
包装
的
严密
性、
防水
性。供应商承
诺
：
自
行承担
邮寄
标书
丢失
、
破损等风险
,
以及
由此导致
的
流
标、投标
被否决
的
后果
。
投标过程中，受
托
人（
被委托
人）
必
须备
好
身份
证
原件
和
授权书原件（以
便核查
），并
必
须
保持
手
机通讯和
网
络畅通
。
受
托
人（
被委托
人）
出示个
人身份
证
原件
和
授权书原件，在开标前
三十
分
钟通
过
扫描
采购文件中
二维码
进
入腾讯会议软
件，
参
与开标过程。
五、公告期限
自
本公告
发布之
日
起
*
个
工
作
日。
六、其他补充事宜
无。
七、对本次招标提出询问，请按以下方式联系。
*.
采购人
信息
名 称：东南大学
地
址
：南京
市四牌楼
*
号
联系方式：电子科学与工程学院：
李
老师
***
：
*****
*
*****
；
实验
室与
设
备管
理处
：
刘老师
***
：
******
*
*****
。
*.
项目联系方式
项目联系人：
陈
工
电
话
：
******
*
*****
附件下载：
