一.主要技术参数 *. 最大扫描长度≥****； *. 测试所允许的最大样品厚度≥****； *. 垂直方向的扫描范围≥******； *. 测试高度方向的重复性≤***（*微米的标准台阶）； *. 测试垂直分辨率≤*.*** *.光学系统：彩色*** ****放大倍率 *.样品台尺寸：不小于*英寸，配置真空吸附功能；具备****、*****及****测试标准块，提供标准块的校准证书；具备主动式气浮减震光学平台，保证设备的稳定性； *. 探针压力范围不小于******，且可连续调节，能精确控制探针压力，保证在不同力下不破坏样品。 *.系统具有超光滑平面,保证扫描基线稳定性 **.提供专用分析软件并终身免费升级 **．多次扫描分析≥**次 **. 仪器采用成熟的****传感器,保证仪器稳定性，数据重复性和可靠性 **.单次扫描最大采样点数***,*** **. 标配有快速更换探针附件工具，而不是固定在设备主机上 **. 仪器配有环境保护罩，防止静电环境影响 **.计算机配置，最新**位，最新*****操作系统酷睿**处理器， ****硬盘，**内存，**寸显示器，保证数据处理的流畅 **. 具备薄膜应力测量功能 二.配置要求 *.台阶仪主机一套：包含****传感器、数据处理系统及专用分析软件。 *.曲率半径为*μ*金刚石探针一根。 *.仪器操作手册和维护手册。

按行业标准提供服务