溅射靶头：低电压平面磁控溅射； 主机尺寸：***（*）×***（*）×***（*）； 显示屏：*英寸彩色触摸屏 ； 真空室：φ***(*.*.)×***(*)**； 真空泵 旋片泵：（可选配螺杆干泵）； 真空泵尺寸：***(*)×***(*)×***(*)** ； 真空测量：皮拉尼真空规； 样品台：φ***** ； 操作方式：一键操作（全自动）； 工作电流：*******连续可调 ； 真空测量：皮拉尼式真空规管； 工作介质：推荐氩气，也可使用空气 ； 输入电源：****/****（**/****）； 可用靶材：**、**、**、**等； 靶材尺寸：φ**×*.* **； 真空室材质：高透光高硼硅玻璃； 抽速：*.**/*； 真空泵电源：**** ****(**/****)； 极限真空：≤*** ； 样品台转速：*******可调； 保护功能：过流保护、真空保护； 工作时间：******连续可调； 工作真空：****** ； 连接管路：***不锈钢波纹管 ； 预溅射：全自动预溅射挡板，可去除靶表面的吸附物，提高膜层纯度； 氩气冲洗：专业级氩气冲洗，可自定义冲洗压力，充气及抽空时间； 选配 ： *. 膜厚监控组件：设定范围*****.***，可精确控制镀层厚度 *. 样品台加热组件：室温****℃自动控制 *. 多功能样品：倾斜旋转台、行星旋转台等。

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