上海大学2025年08月政府采购意向

2025-07-16

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招标采购

上海大学2025年08月政府采购意向
上海-2025-07-16 00:00:00

上海大学****年**月政府采购意向

来源：上海大学

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为便于供应商及时了解政府采购信息，根据《财政部关于开展政府采购意向公开工作的通知》（财库〔****〕**号）等有关规定，现将上海大学****年**月政府采购意向如下：

序号	采购项目名称	采购需求概况	预算金额（元）	预计采购时间（填写到月）	备注
*	晶圆翘曲检测设备	晶圆翘曲检测设备的功能是检测晶圆的翘曲度、应力分布。利用激光干涉、光学轮廓术或电容传感等技术，在不接触晶圆表面的情况下，精确测量其表面多个点的位置高度。基于采集的高度数据，构建晶圆表面的三维形貌图，直观显示翘曲分布。自动计算关键参数，如总厚度变化、整体翘曲、局部弯曲以及根据行业标准定义的各项翘曲指标。快速判定晶圆是否符合规格要求，实时输出结果，并可对晶圆进行合格/不合格分类。为前道和后道工艺提供关键的质量数据，帮助优化制程，防止因翘曲导致的光刻缺陷、键合不良等问题，提升产品良率。该设备是确保芯片高精度制造和封装可靠性的关键质量控制工具。主要技术要求：检测精度：≤μ；分辨率：≤.μ；重复精度: ≤*。年质保，供货期*个月。	*****.	*******

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

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