上海大学2025年08月政府采购意向

2025-07-16

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招标采购

上海大学2025年08月政府采购意向
上海-2025-07-16 00:00:00

上海大学****年**月政府采购意向

来源：上海大学

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为便于供应商及时了解政府采购信息，根据《财政部关于开展政府采购意向公开工作的通知》（财库〔****〕**号）等有关规定，现将上海大学****年**月政府采购意向如下：

序号	采购项目名称	采购需求概况	预算金额（元）	预计采购时间（填写到月）	备注
*	半导体显示用电感耦合等离子体刻蚀设备	半导体显示用电感耦合等离子体刻蚀设备的核心功能是利用高频电流在线圈中感应产生高密度等离子体。该等离子体在电场引导下轰击基板表面，通过物理轰击和化学反应精确、可控地去除特定材料层，实现微米乃至纳米级的精细图形转移。主要技术要求：支持最大衬底尺寸：兼容**********方形基板、英寸及以下尺寸晶圆；刻蚀气体可配置、、、、、、、等；可刻蚀*、、、*等薄膜；刻蚀均匀性：优于±％；片间均匀性：优于±％;腔室数量：传输腔个、反应腔个。年质保，供货期*个月。	*****.	*******

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

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