上海大学2025年08月政府采购意向
2025-07-16
上海 招标采购
上海大学2025年08月政府采购意向
上海-2025-07-16 00:00:00
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上海大学****年**月政府采购意向
来源：上海大学
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为便于供应商及时了解政府采购信息，根据《财政部关于开展政府采购意向公开工作的通知》（财库〔****〕**号）等有关规定，现将上海大学****年**月政府采购意向如下：
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
| 序号 | 采购项目名称 | 采购需求概况 | 预算金额（元） | 预计采购时间（填写到月） | 备注 |
|---|---|---|---|---|---|
| * | 晶圆级物理气相介质薄膜沉积设备 | （*）设备最大支持*****直径的晶圆级介质薄膜沉积，向下兼容*****、*****、*****等尺寸晶圆；（*）采用向上沉积模式；（*）具备≥*个直径*英寸靶枪；*个直流电源，**功率≥***；*个射频电源，**功率≥****；（*）具备送样腔、沉积腔，沉积腔室极限真空优于******；（*）工件台控温最高加热温度≥***℃，*~**转/分钟可调；（*）镀膜均匀性：直径*****范围内均匀性优于*%； 镀膜重复性：批次间重复性优于*%。 | *******.** | ******* |
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