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项目名称：同济大学感应耦合等离子体刻蚀机采购招标项目

招标项目编号：*****************

招标范围：电子束感应耦合等离子体刻蚀机，*套

招标机构：上海国际招标有限公司

招标人：同济大学

开标时间：********** **:**

公示时间：********** **:** * ********** **:**

中标结果公告时间：********** **:**

中标人：日本光驰株式会社

制造商：ナノリソティックス株式会社

制造商国家或地区：日本