光刻机、台阶仪设备采购竞价公告
2025-07-14
山西/太原
招标采购
光刻机、台阶仪设备采购竞价公告
山西/太原-2025-07-14 00:00:00
山西/太原-2025-07-14 00:00:00
光刻机、台阶仪设备采购竞价公告
发布日期：**********
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| 项目名称 | 光刻机、台阶仪设备采购 | 项目编号 | *************** |
| 公告发布日期 | ****/**/** **:** | 公告截止日期 | ****/**/** **:** |
| 采购单位 | 中北大学 | 付款条款 | 合同签订后，甲方向乙方预付合同金额的**%，设备交付到现场，安装、调试验收合格，乙方出具增值税专用发票后，甲方向乙方一次性支付全部尾款。 |
| 联系人 | 中标后在我参与的项目中查看 | 联系手机 | 中标后在我参与的项目中查看 |
| 是否需要踏勘 | 否 | ||
| 采购预算 | ￥***,***.** | ||
| 送货/施工/服务期限 | 合同签订后**天内完成设备交付安装培训。 | ||
| 送货/施工/服务地址 | 山西省太原市学院路*号中北大学 | ||
| 履约保证金 | 无 | ||
| 项目概况 | 光刻机是实现微纳制造、提升技术水平、保证良率、驱动创新的不可或缺的设备。台阶仪是进行高精度、非破坏性、快速表面形貌和薄膜厚度测量的必备工具，对于保证工艺稳定性、提高产品良率、加速研发进程具有不可替代的作用。采购以上设备用于支撑日常科研。 | ||
采购清单
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| 采购内容 | 是否进口 | 计量单位 | 采购数量 | 售后服务及其他要求 | |
| 光刻机 | 否 | 套 | * | （*）质保期自甲方验收合格之日起免费保修*年。质保期内如果出现非人为因素的质量问题，免费予以维护。（*）服务响应时间：提供 **** 技术支持，*小时内响应， **小时内提出具体解决方案， 使设备尽快恢复正常。 | |
| 参考品牌及型号 | 中国科学院光电技术研究所（*********） 飞诚（********） 博锐（**********） | ||||
| 技术参数要求 | 一、技术参数要求 *、光源类型： *** 光源； *、曝光面积：*** **×*** **； *、曝光波长：*** **：**** **/***数字连续可调； *、分辨力：* μ*； *、对准精度：±*.* μ*（单面），±*μ*（双面，片厚≤*.***）； *、掩模尺寸： * 英寸，向下兼容 *、样片尺寸：*** **×*** **，厚度可适应 *.********（其他厚度可定制），向下兼容； *、曝光方式：定时（倒计时方式 *.******.** 任意设定）； *、调平接触压力通过传感器保证重复； **、数字设定对准间隙和曝光间隙； **、正面面对准：采用双显微物镜+***+采集卡+计算机合像，物镜轴距范围 **********； **、底面面对准：采用双显微物镜+***+采集卡+计算机合像，物镜轴距范围 **********； **、具备真空接触曝光、硬接触曝光、压力接触曝光，以及接近式曝光四种功能； **、照明不均匀性：±*%（Ф*** ** 范围），±*%（Ф*** ** 范围）； **、掩模相对于样片运动行程： *：优于±***; *：优于±***; θ：优于±*°； **、光源平行性：≤*.*°。 二、配置要求 设备要求由均匀照明曝光系统、对准工件台系统、电控系统、气动控制系统及辅助配套 设备构成； *、曝光头系统要求包含： *.*进口紫外 *** 光源； *.* *** 光源整形模块； *.* *** 光源位置调节台； *.*冷却风扇； *.*光学系统：（含整形模块、可变光栏、电子快门、蝇眼透镜组、场镜组、反射镜组）； *、对准工件台要求包含： *.*掩模样片相对运动台（**）； *.* 转动台（θ）； *.*样片自动调平机构；； *.*样片调焦机构 *.*承片台 * 个 （*****×*****）； *.*掩模架 * 个 （* 英寸）； *.*掩模翻转及旋转机构；； *.**** 底面对准工件台（两套）； *、双目双视场对准显微镜包括：光源、电源； *** * 只；成像光学系统；** 英寸液晶显示器；采集卡；三维运动台； *、底面对准系统包括：光源、电源；成像光学系统；数据采集卡 ；***。 *、电控系统包括：控制系统、控制柜桌、计算机系统； *、气动系统包括：气缸、电磁阀、减压阀、气动开关等；电磁阀驱动；气动仪表； *、其它附件包括：真空泵一台（无油泵）；空压机一台（静音泵）；管道。 | ||||
采购清单
*
| 采购内容 | 是否进口 | 计量单位 | 采购数量 | 售后服务及其他要求 | |
| 台阶仪 | 否 | 台 | * | （*）质保期自甲方验收合格之日起免费保修*年。质保期内如果出现非人为因素的质量问题，免费予以维护。（*）服务响应时间：提供 **** 技术支持，*小时内响应， **小时内提出具体解决方案， 使设备尽快恢复正常。 | |
| 参考品牌及型号 | 光莹（******） 泽攸（*****） 镭埃（******） | ||||
| 技术参数要求 | *、光学系统：≥***万像素彩色摄像机 *、探针传感器：双****传感器； *、探针加力范围：*.******； *、探针选型：探针曲率半径*μ*，夹角**°； *、平台移动范围*/* ：手动*/*（*****×*****）； *、移动范围*： 手动*，****； *、样品**θ载物台： 手动，***°连续旋转； *、单次扫描长度： ****； *、最大样品厚度： ≤****； **、载物台可装载最大尺寸： *****； **、台阶高度重复性： *.***（标准块重复扫描**次）； **、测量范围： *****； **、扫描速度： ***/*******/*； **、最大扫描采样点数： ***万点； | ||||
剩余时间：**天**:**:**
该项目其它公告
