"*.腔体冷却方式：腔体水冷+上盖气冷 *.样品台尺寸： ******* *.样品台加热方式：电阻加热 *.样品台测温传感器： *****型热电阻 *.样品台温度：室温到***℃ *.样品台测温误差：±*.*℃ *.温度显示： *寸人机界面 *.温控类型：标准***温控 +自整定 *.温度分辨率：*.*℃ **.温控精度：±*.*℃ **.探针数量：*探针（可扩展*探针） 实际以规格参数附件为准"

自交货之日起，非人为损坏，质保期一年.质保期内供方对由于产品自身瑕疵引起的故障提供免费维修，当供方产品出现故障造成损失时，供方仅对其售出产品本身进行赔偿，终身负责维护。 (损耗材料除外)

"*.控制方式：手动人机界面控制 *.前级泵：双极旋片真空泵 *.前级泵抽气速率：*.**/* *.前级泵极限压强：≤*** *. 分子泵：******/*** *****转/分 *.分子泵抽气速率：****/* *. 分子泵启动时间：≤**** *.空载极限压强：≤******** *.真空测试方式：电阻真空计+冷阴极标准规管 实际以规格参数附件为准"

自交货之日起，非人为损坏，质保期一年.质保期内供方对由于产品自身瑕疵引起的故障提供免费维修，当供方产品出现故障造成损失时，供方仅对其售出产品本身进行赔偿，终身负责维护。 (损耗材料除外)

"*.工作温度范围：(*~**)°* *.供电电源：~********* **/**** *.最大功耗：*** *.进气口压：≤*.**** *.管道连接： *** 不锈钢管道 *. 截止阀类型：手动截止阀 *.单向阀开启压力：*.***** *. 压力显示量程：***.**** 机械压力表 *. 时间设定：******* 分钟 **.程序控制：多段程序控制上位机，* 段可编程序(时间*流量随意设定值软件控制 **.压力显示：不锈钢机械压力表 **.气体混合罐：有（内置不锈钢扰流板气体混合均匀） 实际以规格参数附件为准"

自交货之日起，非人为损坏，质保期一年.质保期内供方对由于产品自身瑕疵引起的故障提供免费维修，当供方产品出现故障造成损失时，供方仅对其售出产品本身进行赔偿，终身负责维护。 (损耗材料除外)

加热台改装件

自交货之日起，非人为损坏，质保期一年.质保期内供方对由于产品自身瑕疵引起的故障提供免费维修，当供方产品出现故障造成损失时，供方仅对其售出产品本身进行赔偿，终身负责维护。 (损耗材料除外)