项目名称：中国科学院上海技术物理研究所低温超深宽比反应离子刻蚀系统采购项目
项目编号：*****************
招标范围：低温超深宽比反应离子刻蚀系统 *套
招标机构：东方国际招标有限责任公司
招标人：中国科学院上海技术物理研究所
开标时间：********** **:**
公示时间：********** **:** * ********** **:**
中标结果公告时间：********** **:**
中标人：*****？****？**.,*******
制造商：****** *********** ************** ***** ******* */* ****** *********** ****** **********
制造商国家或地区：英国