深圳国际量子研究院离子注入机采购意向公开
2025-07-14
广东/深圳 招标采购
深圳国际量子研究院离子注入机采购意向公开
广东/深圳-2025-07-14 00:00:00
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准
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深圳国际量子研究院离子注入机采购意向公开
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深圳国际量子研究院离子注入机采购意向公开
| 采购单位: | 深圳国际量子研究院 |
| 项目名称: | 离子注入机采购 |
| 预算金额（元）: | **,***,***.*** |
| 采购品目: | 其他机械设备 |
| 采购需求概况: | 拟采购一台离子注入机（多种注入离子种类配置），用于量子材料和量子器件研究，支持多种离子的注入。 拟购设备需要具有*英寸的大的载物台，离子源系统、离子源气路、束流调整系统、真空系统、静电扫描系统、报警系统、软件操作界面。拟购设备需要能够通过控制注入离子的种类（*, *, **, **等）、能量和剂量，精确控制掺杂区域的导电类型（*型或*型）、掺杂浓度和掺杂深度（结深）。能够通过调节离子加速电压来控制离子的能量，满足中等深度注入的需求。能够通过精确控制离子束流强度和注入时间来控制单位面积硅片内注入的离子数量（剂量），适合处理中等剂量范围的注入。配备精密的扫描系统，确保硅片上所有芯片的同一区域都获得相同剂量的离子注入，这对器件性能的一致性和良率至关重要。能够精确控制离子束相对于硅片表面的入射角度以及扭转角，通常具备较好的角度控制能力。能够通过光刻胶掩膜或硬掩膜（如氧化硅、氮化硅），只在硅片未被掩膜遮挡的区域进行离子注入，实现选择性注入。配备气体泄漏自动报警及应急处理系统，具备连续运行稳定性，提供设备安装调试、操作人员培训等服务。 |
| 预计采购时间: | ******* |
| 联系人: | 王老师 |
| 联系电话: | *********** |
| 备注: | 无 |
