高真空磁控溅射系统一套（ZBZXHB2025018）采购公告
2025-07-10
四川/成都
招标采购
高真空磁控溅射系统一套（ZBZXHB2025018）采购公告
四川/成都-2025-07-10 00:00:00
四川/成都-2025-07-10 00:00:00
高真空磁控溅射系统一套（*************）采购公告
发布时间：********** **:**:**阅读量：**次
| 项目名称 | 高真空磁控溅射系统一套 | 项目编号 | ************* |
|---|---|---|---|
| 公告开始日期 | ********** **:**:** | 公告截止日期 | ********** **:**:** |
| 采购单位 | 四川大学 | 付款方式 | 请查看比选文件 |
| 联系人 | 成交后在我参与的项目中查看 | 联系电话 | 成交后在我参与的项目中查看 |
| 签约时间要求 | 成交后*日内 | 到货时间要求 | 合同签订后***个日历日内 |
| 预算总价 | ￥***,***.** + + 未公布 | ||
| 收货地址 | 望江校区第一理科楼楼中*** 房间 | ||
| 供应商资质要求 |
符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件 |
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| 公告说明 | |||
采购清单*
| 采购商品 | 采购数量 | 计量单位 | 所属分类 |
|---|---|---|---|
| 高真空磁控溅射系统 | * | 台 | 其他试验仪器及装置 无 无 |
| 品牌 品牌* | * |
|---|---|
| 型号 | * |
| 品牌* | |
| 型号 | |
| 品牌* | |
| 型号 | |
| 预算单价 | ￥***,***.** |
| 技术参数及配置要求 |
该设备具有可控制的磁场、稳定的氩气控制方案，主要用于在超高真空环境中制备单层、多层薄膜，主要为多层金属薄膜、合金薄膜、半导体材料薄膜、氧化物薄膜等；溅射方式主要有直流溅射以及射频溅射。 一、真空系统： *.▲超高真空***不锈钢圆柱体反应腔体，尺寸不小于*****高×*****直径；腔体顶部采用橡胶圈密封，底部采用金属密封；采用前开门设计，方便打开腔体；主腔体配备不少于*个*英寸观察窗，带手动挡板； *.★极限真空度：*×**－***； *.恢复真空时间：大气至*×**－***≤*****； *.保真空：达到极限真空度后，关闭高真空阀一小时，真空室真空度≤*×******； *.▲电动蝶阀采用伺服控制，用于自动恒真空系统，使溅射使真空保持恒定。 *.★真空系统配置：分子泵和前级泵组合，配软抽阀及软放阀(可减少真空室排大气时湍流对工件的影响), 管道通径为****，真空系统管道采用不锈钢材料，管道软连接处采用金属波纹管；各真空阀门为气动阀门。 二、工艺能力： *.制造商需要配合用户做工艺设计和工艺参数调整； *.★制造商需具备一定的技术基础与工艺能力，采用磁控溅射单一技术， 制备**金属单质薄膜，厚度≥*****，基底尺寸要求＞φ****，基底材质为**基材），并在投标时提供样品的测试数据（附在投标文件中）。要求样品肉眼观察无明显裂纹，背面用光源照射时也不会出现明显裂纹。 *.▲根据工艺要求，设备成膜均匀性最优可达（****）：±*.*% @ *****基片（去除边缘***）； 三、样品台系统： *.★样品台具备溅射*英寸基片的能力并向下兼容，安装在真空腔顶部，向上溅射，样品台配置最高温度不低于***℃，加热系统采用控温精度±*℃； *.▲样品台可调工作距离不少于****，铝合金材质； *.工件转动的动密封为磁流体密封，工件盘轴向、径向跳动≤±*.*%； 四、电源和靶系统： *.★主腔室底部配置不少于*套*英寸（使用直径*英寸的靶材）靶枪； *.所有靶枪均配备独立的气动挡板和套筒，防止靶材交叉污染； *.所有靶枪适应直流电源或射频电源工作模式； *.★靶枪电源包括：不少于*套功率****直流电源，带专用*路切换器，通过切换器，其中*个直流电源可连接*个靶枪，通过电脑控制切换给不同靶枪供电；不少于*套功率****射频电源，带自动匹配网络及输出电缆； 五、电控系统： *.▲控电柜采用一体式，仪表安装柜采用非标准英尺寸，另一侧作为电器元件安装柜结构为大板式，便于安装维护，元器件损坏时应易于检测和更换； *.★配不小于**寸触摸屏控制功能，具有良好的人机界面与操作功能，可实现溅射镀膜过程全自动化控制，从排气到溅射镀膜结束整个过程一键式自动控制，安全连锁的操作系统； *.控电柜内主要电器外购件均选用通过**认证或*******认证的生产厂商的产品，确保安全可靠。 六、样品处理装置 *. 加热板材质：陶瓷涂层铝合金 *. 搅拌速度：********** *. 温度范围：室温****℃ *. 具备计时功能 *. 具备自动反转功能 七、配置清单 *. 真空腔体*套； *. 分子泵和直联泵各*套； *. 射频电源*套，直流电源*套； *. 电控一体机*套； *. 冷却循环水*套； *. 样品处理装置*套； *. 满足招标要求的其他配置； |
| 售后服务 | 服务年限:**月;电话支持:****小时;商品承诺:原厂全新未拆封正品;质保期:一年; |
四川大学
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附件下载：
请各位供应商慎重报价，确认完全符合采购人商务、技术要求后再进行报价。且供应商响应的商务、技术要求须与采购人提出的商务、技术要求完全一致，不允许负偏离，亦不可正偏离。成交后，以任何理由不签署合同，或者签署合同后不按照合同履约，均将列入陕西师范大学供应商违规失信行为名单，三年内禁止参加陕师大非政府采购项目。若因此引起法律纠纷，请向陕西省西安市雁塔区人民法院提起诉讼。
