*.光源：白光*** *.影像系统****×**** *.干涉物镜**×（可选*.*×、*×、**×、**×、***×） *.光学*****.*×（可选*.***×、*.**×、*×） *.标准视场*.**×*.****（**×） *.物镜塔台*孔手动，可选*孔电动 *.**位移平台 尺寸***×***** 移动范围***×***** 负载**** 控制方式手动和电动兼容型 *.水平调整±*°，手动 *.*轴聚焦 行程***** 控制方式电动 **.*向扫描范围** ** **. *.***分辨率时扫描速度*.**μ*/* **.形貌重复性******.*** **.粗糙度***重复性***.***** **.台阶测量 准确度：*.*% 重复性：*.**% ，*σ **.仪器主机重量***㎏ **.主机尺寸（长×宽×高）***×***×***** **.环境条件： 工作温度*℃ ~**℃，温度梯度 ***; *℃/**分钟 相对湿度*%***%**，无凝露 环境振动****或更优 软件监控噪声***σ≤*** 气浮隔振*.****稳压清洁气源，除油、除水，气管直径***（若接客户端气源） 电源**********，**/****，功率**** 其他无强磁场，无腐蚀气体 **.认证**

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