东南大学电子科学与工程学院原子层刻蚀机采购项目（SEU-ZB-250492）招标公告
2025-07-08
江苏/南京 招标采购
东南大学电子科学与工程学院原子层刻蚀机采购项目（SEU-ZB-250492）招标公告
江苏/南京-2025-07-08 00:00:00
江苏/南京-2025-07-08 00:00:00
东南大学电子科学与工程学院原子层刻蚀机采购项目（*************）招标公告
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东南大学电子科学与工程学院原子层刻蚀机采购项目招标公告
东南大学电子科学与工程学院原子层刻蚀机采购项目的潜在投标人应在
微信公众号
“苏美达达天下”
获取招标文件，并于
****
年
*
月
**
日
**
点
**
分（北京时间）前递交投
标文件。
一、项目基本情况
项目编号：
*******************
（
*************
）
项目名称：
东南大学电子科学与工程学院原子层刻蚀机采购
预算金额：
***
万元
最高限价：
*
**
万元
（境内外产品最高限价均为此限价，其中境外产品不含外贸代理
费），超过最高限价的为无效投标文件
采购需求：
*
、反应腔由整块铝锭加工制成、无焊缝、低漏率；腔壁可加热；内腔壁耐
氟基、氯基以及其他常用刻蚀气体刻蚀；本底真空≤
**** ****
；真空漏率≤
**** ***
*·*/*
；兼容
*
英寸及以下直径的晶圆和不规则小片；不同尺寸样片之间的切换，无需反
应腔的开腔破真空。
*
、上、下电极之间的距离可电动调节、以优化工艺；下电极配置机械卡盘和背氦冷却
，
采用动态温度控制技术功能，配置外置循环冷却器和内置加热器；下电极温度控制范围不
小于
*** °*
到
*** °*
，控温精度≤
±* °*
。
合同履行期限：
境外产品：开具信用证后
***
天内设备安装调试合格。
境内产品：合同签订后
***
天内设备安装调试合格。
本项目不接受联合体投标。
本项目接受进口产品。
本项目所属行业：工业。
本项目
(
非专门
)
面向中小企业采购。
本项目
(
非专门
)
面向
监狱
企业采购。
本项目
(
非专门
)
面向
残疾
人
福利性单位
采购。
二
、
申请
人的
资
格
要
求：
*
.
满足《
中
华
人
民共
和
国政府
采购
法》第二十二条
规
定
：
（
*
）具
有独立承担民事责任
的能
力
（
提供法
人
或者
其他
组织
的
营
业
执照
，
自然
人的
身
份
证
明
）；
（
*
）具
有良好
的
商
业信
誉
和
健全
的
财务会计
制度（
提供参
加本
次政府
采购
活
动前
半
年
内（
至少
一
个
月）的
会计报表
（
至少包
含
资
产
负债表
及
利润表
）
或者
****
年度
或
****
年
度的
财务审计报
告，
成
立
不
足
一年的
提供
开标前
六个
月内的
银
行
资
信证
明
原件。
）；
（
*
）具
有
履行合同所
必
需的设备和专业技术能
力
，
提供
证
明材料或承诺函
；
（
*
）
有依法缴纳税收
和
社会保障资
金的
良好记录
，
提供纳税凭据复印
件加
盖
公
章
。
（
依法免税
的应
提供相
应文件
说明
）、
依法缴纳社会保障资
金的
凭据复印
件（
凭据
可以
是
缴
费的
银
行
单据
、专用
收据
、
社会保险缴纳清单或者
所在
社保
机
构
开具的证
明等
，
依法
不
需
要缴纳社会保障资
金的应
提供相
应文件
说明
）；
（
*
）
参
加
政府
采购
活
动前
三
年内（成
立
时间不
足三
年的、
自
成
立
时间
起
），在
经营活
动中
没有重
大
违法记录
（
提供参
加本
次政府
采购
活
动前
*
年内在
经营活
动中
没有重
大
违法
记录
的
书
面
声明
，
重
大
违法记录是指供
应
商因违法经营
受到
刑事处罚或责令停
产
停
业、
吊
销许
可证
或者执照
、
较
大
数
额
罚款等
行
政处罚
）。
（
*
）
法律
、行
政法
规规
定
的其他
条
件。
*
.
落实政府
采购
政策
需
满足
的
资
格
要
求：
无
*
.
本项目的
特定资
格
要
求：
（
*
）
如
为进口产品，需
提供有
效的产品
授权书
。
*
.
拒绝
下
述供
应
商参
加本
次
采购
活
动：
（
*
）
供
应
商单位负责
人为同一人
或者存
在直接控
股
、
管
理
关系
的不同
供
应
商
，不
得参
加同一合同项下的
政府
采购
活
动。
（
*
）
凡
为采购项目
提供
整体设
计
、规范编制
或者
项目
管
理、
监
理、
检测等服务
的
供
应
商
，不
得再参
加本项目的采购
活
动。
（
*
）
供
应
商被
“信用中
国
”
网站
（
***.*
*
********
*
.***.**
）、“中
国政府
采购
网
"
(
***.****.***.**
)
列入失
信
被执
行人、
税收违法黑
名
单
、
政府
采购
严重违法失
信行为
记录
名
单
。
三
、获取招标文件
*
、时间：
****
年
*
月
*
日
至
****
年
*
月
**
日，
每
天上
午
**
：
**
至
**
：
**
，下
午
**
:
**
至
**
:
**
（北京时间，
法定
节
假
日
除
外）
*
、
地
点：本项目
仅
接受
在
线
获取招标文件。
*
、
方式
：在
线
获取
*
、
招标文件获取
：
每套
*
**
元
*
、在
线
获取采购文件
操作流
程
如
下：
（
*
）用微信
关注我司
公众号“苏美达达天下”。
（
*
）进
入
公众号
*“
在
线服务
”
*“
在
线
购标”。
（
*
）
输入
本项目的项目编号
:
*******************
，点
击查询
。
添
加
您
所
要
获取的采
购文件到购
物车
，
输入
投标
单位
名称、
领
购人信
息
以及
发票
信
息
，
提
交订
单
并
确认
微信
支
付
，
支付完
成后，
经确认
信
息
无
误
后采购文件电子
版将发送至领
购人
邮箱
。
注意事
项：
（
*
）
确保领
购人
邮箱
真
实准确
无
误
，电子
版
采购文件
将发送
到此
邮箱
。
（
*
）采购文件
发票仅提供增值税
（电子）
发票
，开
出
后
发送至领
购人
邮箱
。
（
*
）“苏美达达天下”
付款平台填写
的投标
单位
名称
必须
与开
票
信
息
一
致
。
如
不一
致
投标人
自
行
承担
后
果
。
请认
真
填写领
购人信
息
及
发票
信
息
。
（
*
）非采购代理机
构或平台
公
司
原
因
，采购文件
发票
一
经
开具不
予退
换，
请谨慎填写
。
四
、
提
交投标文件
截止
时间、开标时间和
地
点
*
、投标
截止
时间：
****
年
*
月
**
日
**
点
**
分（北京时间）
*
、开标时间：
****
年
*
月
**
日
**
点
**
分（北京时间）
*
、
开标
地
点：南京
市长江路
***
号苏美达大
厦辅楼
***
会议室
五
、公告期限
自
本公告
发布
之日
起
*
个
工
作
日。
六
、其他
补充事宜
无。
七
、
对
本
次
招标
提出询问
，
请按
以下
方式
联
系
。
*
.
采购人信
息
名 称：东南大学
地
址
：南京
市玄武区四牌楼
*
号
技术
咨询
：电子科学与工程学院：温
老师
电
话
：
***********
；
实
验
室
与设备
管
理
处
：
刘
老师
电
话
：
************
*
.
采购代理机
构
信
息
名 称：苏美达
国
际
技术贸
易
有
限公
司
地
址
：南京
市长江路
***
号苏美达大
厦
**
联
系方式
：
************
*
.
项目联
系方式
项目联
系
人：
邓梦诗
、
杨扬
电
话
：
************
、
***********
*
附件下载：
