东南大学电子科学与工程学院HF气体刻蚀机采购项目（SEU-ZB-250494）招标公告
2025-07-08
江苏/南京 招标采购
东南大学电子科学与工程学院HF气体刻蚀机采购项目（SEU-ZB-250494）招标公告
江苏/南京-2025-07-08 00:00:00
江苏/南京-2025-07-08 00:00:00
东南大学电子科学与工程学院**气体刻蚀机采购项目（*************）招标公告
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东南大学电子科学与工程学院
**
气体刻蚀机采购项目招标公告
东南大学电子科学与工程学院
**
气体刻蚀机采购项目的潜在投标人应在
微信公众号
“苏美达达天下”
获取招标文件，并于
****
年
*
月
**
日
**
点
**
分（北京时间）前递交投
标文件。
一、项目基本情况
项目编号：
*******************
（
*************
）
项目名称：
东南大学电子科学与工程学院
**
气体刻蚀机采购
预算金额：
***
万元
最高限价：
***
万元（境内外产品最高限价均为此限价，其中境外产品不含外贸代理
费），超过最高限价的为无效投标文件
采购需求：
*.
能处理的硅片最大尺寸为
*
英寸
(*****)
，同时向下兼容小尺寸和碎片
样品。
*.
片内均匀性：
***; **% (*/**)
，在
*** Å/***
刻蚀条件下；
测试工艺条件与计算方法：
测试片：
*
英寸衬底、带
*μ*
或以上厚度热氧化硅薄膜
*.
片间重复性：
***; **% (*/**)
；
测试工艺条件与计算方法：
测试片：
*
英寸衬底、带
*μ*
或以上厚度热氧化硅薄膜
均匀性
= (
最快–最慢
) / (**
平均值
) ****%
合同履行期限：
境外产品：开具信用证后
***
天内设备安装调试合格。
境内产品：合同签订后
***
天内设备安装调试合格。
本项目不接受联合体投标。
本项目接受进口产品。
本项目所属行业：工业。
本项目
(
非专门
)
面向中小企业采购。
本项目
(
非专门
)
面向监狱企业采购。
本项目
(
非专门
)
面向残疾人福利性单位采购。
二、申请人的资格要求：
*.
满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定：
（
*
）具有独立承担民事责任的能力（提供法人或者其
他组织
的
营
业
执照
，
自然
人的
身
份
证
明
）；
（
*
）具有
良好
的
商
业信
誉
和
健全
的
财务会
计
制
度（提供
参加
本
次
政府采购
活动
前
半
年
内（
至少
一
个
月）的
会
计
报表
（
至少包
含资产
负债表及
利
润表
）或者
****
年度或
****
年
度的
财务审
计
报
告，
成
立不足一年的提供开标前
六个
月内的
银
行资信证
明原
件。
）；
（
*
）具有履行合同所
必
需的设备和专业
技术
能力，提供证
明材料
或承
诺函
；
（
*
）有
依
法
缴纳税收
和
社会保障
资金的
良好记录
，提供
纳税凭据
复
印
件
加盖
公
章
。
（
依
法
免税
的应提供
相
应文件
说明
）、
依
法
缴纳社会保障
资金的
凭据
复
印
件（
凭据可
以
是
缴
费的
银
行单
据
、专用
收据
、
社会保险缴纳清
单或者所在
社保
机
构
开具的证
明等
，
依
法不
需要
缴纳社会保障
资金的应提供
相
应文件
说明
）；
（
*
）
参加
政府采购
活动
前
三
年内（
成
立时间不足
三
年的、
自成
立时间
起
），在
经营活
动
中
没
有重大
违
法
记录
（提供
参加
本
次
政府采购
活动
前
*
年内在
经营活动
中
没
有重大
违
法
记录
的
书
面
声明
，重大
违
法
记录是指
供应
商因违
法
经营
受
到刑
事处
罚
或责
令停
产
停
业、
吊
销许可
证或者
执照
、
较
大
数
额
罚款等
行政处
罚
）。
（
*
）法
律
、行政法规规定的其
他
条件。
*.
落实
政府采购政
策
需满足的资格要求：
无
*.
本项目的
特
定资格要求：
（
*
）
如
为进口产品，需提供有效的产品
授权书
。
*.
拒绝
下
述
供应
商参加
本
次
采购
活动
：
（
*
）供应
商
单位
负
责人为同一人或者
存
在
直
接
控股
、
管
理
关系
的不同供应
商
，不
得参
加
同一合同项下的政府采购
活动
。
（
*
）
凡
为采购项目提供
整
体设计、规
范
编
制
或者项目
管
理、监理、
检
测
等服务
的供应
商
，不
得再参加
本项目的采购
活动
。
（
*
）供应
商被
“信用中国”
网站
（
***
.
****
*
***
**
*
.
***
.
*
*
）、“中国政府采购
网
"
(
***
.
****
.
***
.
*
*)
列入失
信
被执
行人、
税收违
法
黑
名单、政府采购
严
重
违
法
失
信行为
记录
名单。
三
、获取招标文件
*
、时间：
****
年
*
月
*
日
至
****
年
*
月
**
日，
每
天上
午
**
：
**
至
**
：
**
，下
午
**
:
**
至
**
:
**
（北京时间，法定
节假
日
除
外）
*
、
地
点：本项目
仅
接受
在
线
获取招标文件。
*
、方
式
：在
线
获取
*
、
招标文件获取
：
每套
*
**
元
*
、在
线
获取采购文件
操作流
程
如
下：
（
*
）用微信
关注我司
公众号“苏美达达天下”。
（
*
）进
入
公众号
*“
在
线服务
”
*“
在
线
购标”。
（
*
）
输入
本项目的项目编号
:
*******************
，点
击查询
。
添加您
所要获取的采
购文件
到
购
物车
，
输入
投标单位名称、
领
购人信
息
以
及发票
信
息
，提交订单并
确认
微信
支
付
，
支付完成
后，
经确认
信
息
无
误
后采购文件电子
版将发送至领
购人
邮箱
。
注意
事项：
（
*
）
确保领
购人
邮箱真实准确
无
误
，电子
版
采购文件
将发送到
此
邮箱
。
（
*
）采购文件
发票仅
提供
增
值
税
（电子）
发票
，开
出
后
发送至领
购人
邮箱
。
（
*
）“苏美达达天下”
付款
平
台填写
的投标单位名称
必须
与开
票
信
息
一
致
。
如
不一
致
投标人
自
行承担后
果
。请
认真填写领
购人信
息及发票
信
息
。
（
*
）非采购代理机
构
或平
台
公
司原因
，采购文件
发票
一
经
开具不
予退换
，请
谨慎填写
。
四
、提交投标文件
截止
时间、开标时间和
地
点
*
、投标
截止
时间：
****
年
*
月
**
日
**
点
**
分（北京时间）
*
、开标时间：
****
年
*
月
**
日
**
点
**
分（北京时间）
*
、
开标
地
点：南京
市长江路
***
号苏美达大
厦辅楼
***
会议室
五
、公告期限
自
本公告
发布之
日
起
*
个
工
作
日。
六
、其
他补充
事
宜
无。
七
、
对
本
次
招标提
出询问
，请
按
以下方
式
联
系
。
*.
采购人信
息
名 称：东南大学
地
址
：南京
市玄武区四牌楼
*
号
技术咨询
：电子科学与工程学院：
温
老师
电
话
：
***********
；
实验室
与设备
管
理处：
刘
老师
电
话
：
************
*.
采购代理机
构
信
息
名 称：苏美达国
际技术
贸
易
有限公
司
地 址
：南京
市长江路
***
号苏美达大
厦
**
联
系
方
式
：
************
*.
项目联
系
方
式
项目联
系
人：
邓梦诗
、
杨扬
电
话
：
************
、
***********
*
附件下载：
