华中科技大学**年月政府采购意向公开（第二批）

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为便于供应商及时了解政府采购信息，根据《财政部关于开展政府采购意向公开工作的通知》（财库〔****〕**号）等有关规定，现将华中科技大学****年**月政府采购意向公开（第二批）如下：

序号	采购项目名称	意向编号	采购品目	采购需求概况	预算金额 (万元)	预计采购日期	备注
*	荧光寿命测量系统	***********	*********物理光学仪器	开展超快时序光学测量的光谱仪设备，包括条纹变像管，高灵敏度*探测器和单色仪等部分，具体参数要求为：光谱相应范围覆盖*****；时间分辨率优于；兼具快扫（*******）和慢扫(.******)两种模式	***	**年月
*	***扫描电子显微镜双束系统	***********	*********显微镜	#;拟购*扫描电子显微镜双束系统套。主要技术指标：、离子束镜筒：液态离子源；分辨率≤.*@*；加速电压.****（步进）；束流******；寿命≥μ；支持实时边切边看。、电子束镜筒：肖特基场发射灯丝；分辨率≤.*@*、≤.*@（非减速模式）；加速电压.*****（着陆电压*******）；束流稳定性优于.%/。、探测器：样品室+镜筒内独立二次电子探测器（镜筒内无需偏压）、环形背散射探测器、个红外/彩色**相机；支持双通道同时成像。、能谱仪：*硅漂移探测器（**，超薄窗）；元素范围****；能量分辨率 ≤**、 ≤*、 ≤（@,***，符合* ***:*）；软件控制自动伸缩。、质保：自验收合格之日起两年；、售后：所有硬件两年免费保修、所有软件免费保修升级、电话报修后小时上门服务、小时内排除故障。#**;	***	**年月
*	化学机械平坦化系统	***********	*********工艺试验机	#;拟购化学机械平坦化系统套。主要技术指标：、加工尺寸：支持、、英寸；、抛光头转速：最大转速≥ ；误差±%；、抛光头采用直驱电机。加压方式：分区加压控制；、抛光头分区：寸抛光头**** ；寸抛光头***：寸抛光头 ****；、质保：自验收合格之日起两年；、售后：所有硬件两年免费保修、所有软件免费保修升级、电话报修后小时上门服务、小时内排除故障。#**;	***	**年月
*	激光直写系统	***********	*********工艺试验机	#;拟购激光直写系统套。主要技术指标：、最小线宽：≤±（最小光栅周期：≤**）；、线宽均匀性：≤***（σ）@ ***** 分辨率；、线粗糙度：≤**（σ）@ ****分辨率；、正面对准精度≤***** （平均值）；、质保：自验收合格之日起两年；、售后：所有硬件两年免费保修、所有软件免费保修升级、电话报修后小时上门服务、小时内排除故障。#*;	***	**年月
*	原子层刻蚀系统	***********	*********工艺试验机	#;拟购原子层刻蚀系统套。主要技术指标：、英寸向下兼容；、射频：频率.**，上射频额定功率≥*，下射频额定功率≤*；、配备*快速切换阀，响应时间;**；、气路总数可达路，每路入口配有截止阀；、质保：自验收合格之日起两年；、售后：所有硬件两年免费保修、所有软件免费保修升级、电话报修后小时上门服务、小时内排除故障。#**;	***	**年月
*	误码率分析仪	***********	*********集成电路参数测量仪	#;拟购误码率分析仪台。主要技术指标：、支持*****的码型产生；、支持*,编码方式；支持*,**,**,***输出；、时钟抖动小于****；、输出幅度为至 . * (单端)；* ** 至. * 差分；、质保：自验收合格之日起两年；、售后：所有硬件两年免费保修、所有软件免费保修升级、电话报修后小时上门服务、小时内排除故障。#*;	***	**年月
*	电子束蒸镀机	***********	*********工艺试验机	#;拟购电子束蒸镀机台。主要技术指标：、温度可以高达*摄氏度，误差为+/%；、”晶圆薄膜沉积均匀性可以达到σ**; .%, ** **。、设备可以运行最大”晶圆，并向下兼容；、设备预留多个功能模块位置，可以方便升级，添加其他功能模块，如磁控溅射、离子刻蚀、**等；、质保：自验收合格之日起两年；、售后：所有硬件两年免费保修、所有软件免费保修升级、电话报修后小时上门服务、小时内排除故障。#**;	***	**年月
*	脉冲激光沉积系统	***********	*********工艺试验机	#;拟脉冲激光沉积系统台。主要规格参数：、抽气系统包括进口分子泵(抽速≥** /)和进口涡旋干泵(抽速≥. /)，腔体与分子泵之间配有气动闸板阀，本底真空度优于*****；、靶台：靶材尺寸及数量：φ英寸× 个；每个靶材均可实现自转、公转，自转速率≤ ，由电机控制；可在公转方向上摆动扫描，以实现激光对靶材的均匀烧蚀；、配备进口***电子枪，电子枪能量最高可达 **，工作气压最高可达.* **（ *）；、配备进口*离子源，电源功率大于**，流量计***；、质保：自验收合格之日起两年；、售后：所有硬件两年免费保修、所有软件免费保修升级、电话报修后小时上门服务、小时内排除故障。#**;	***	**年月
*	大带宽高速时域信号调制分析仪	***********	*********集成电路参数测量仪	#;拟购大带宽高速时域信号调制分析仪统台。主要技术指标：、通道模拟实时带宽≥****；、通道实时采样率≥***/；、存储深度 ≥*；、质保：自验收合格之日起两年；、售后：所有硬件两年免费保修、所有软件免费保修升级、电话报修后小时上门服务、小时内排除故障。#**;	***	**年月
**	反应离子刻蚀机	***********	*********工艺试验机	#;拟购反应离子刻蚀机台。主要规格参数：、设备英寸并向下兼容；、可实现对ⅢⅤ族材料以及硅基材料的低损伤刻蚀；对**的刻蚀：刻蚀速率;*/；、最大刻蚀深度*;，对的选择比*;.:,侧壁倾角*±°；、英寸范围内刻蚀均匀性**;±%；、质保：自验收合格之日起两年；、售后：所有硬件两年免费保修、所有软件免费保修升级、电话报修后小时上门服务、小时内排除故障。#*;	***	**年月
**	存储器芯片测试系统	***********	*********集成电路参数测量仪	#;拟购存储器芯片测试系统套。主要规格参数：、覆盖阵列芯片的测试，配置个**通道；、任意波形发生器：****，通道，每条通道样点波形存储深度，采样率*/；、源表：通道，***，测量分辨率.*/**；、最小脉宽：* 、示波器：个模拟通道，.记录长度，.带宽；、质保：自验收合格之日起两年；、售后：所有硬件两年免费保修、所有软件免费保修升级、电话报修后小时上门服务、小时内排除故障。#**;	***	**年月
**	频谱分析仪	***********	*********集成电路参数测量仪	#;拟购频谱分析仪台。主要规格参数：、频率范围不小于***.*；、实时频谱分析带宽不低于*****；、总体幅度精度±.**；、质保：自验收合格之日起两年；、售后：所有硬件两年免费保修、所有软件免费保修升级、电话报修后小时上门服务、小时内排除故障。#**;	***	**年月
**	等离子体增强化学气相沉积系统	***********	*********工艺试验机	#;拟购等离子体增强化学气相沉积系统套。主要规格参数：、反应腔室套，真空获得系统套；、下电极套；射频电源及匹配器套，频率.**；、真空检测系统套；电气控制系统套；控制软件套；、选配*******自动传输系统；、选配*****低频射频电源；、质保：自验收合格之日起两年；、售后：所有硬件两年免费保修、所有软件免费保修升级、电话报修后小时上门服务、小时内排除故障。#**;	***	**年月
**	矢量网络分析仪	***********	*********集成电路参数测量仪	#;拟购矢量网络分析仪台。主要技术指标：、频率范围不低于*****.*；、端口数量个；系统动态范围***；、噪声电平≤******；、相位噪声≤*****/(@****频偏)；、迹线噪声 **到* 幅度; .* ，相位**; .*°；、质保：自验收合格之日起两年；、售后：所有硬件两年免费保修、所有软件免费保修升级、电话报修后小时上门服务、小时内排除故障。#**;	***	**年月
**	功率器件分析仪	***********	*********功率计	#;拟购功率器件分析仪台。主要技术指标：、具有高电压高电流测量功能，最大电流**，最大电压，且可在**和之间进行自动切换；、超大电流模块，最大电流±***（脉冲），电流测量分辨率为：，最大输出电压±，输出脉冲宽度可设置范围为*至.**；、栅极最大输出电压：±*，最大输出电流：±（脉冲模式），±.（），最小电流测量分辨率：*** 、高压模块性能：最大输出电压范围±，最大输出电流:±；电流测量最小分辨率为：**；、质保：自验收合格之日起两年；、售后：所有硬件两年免费保修、所有软件免费保修升级、电话报修后小时上门服务、小时内排除故障。#**;	***	**年月
**	金相显微镜	***********	*********显微镜	#;拟购金相显微镜台。主要技术指标：、光学系统及变焦比：设备需采用远心光学系统，变焦比或变倍比≥倍。、配备不少于个物镜，放大倍数及参数要求如下：倍镜头，放大倍数范围需涵盖******，数值孔径≥.，工作距离≥* 倍镜头, 放大倍数范围需涵盖********，数值孔径≥.，工作距离≥* 倍镜头, 放大倍数范围需涵盖*******,数值孔径≥.,工作距离≥* 倍镜头，放大倍数范围需涵盖*******,数值孔径≥.,工作距离≥.*** 、观察方式包含但不限于：明场、暗场、偏光、明场+暗场、斜射、阴影浮雕、微分干涉；、最大样品高度≥***。、图像采集模块：可采集和表面形貌图像，可实现和图像自动拼接功能,获得样品高倍整体形貌；、质保：自验收合格之日起两年；、售后：所有硬件两年免费保修、所有软件免费保修升级、电话报修后小时上门服务、小时内排除故障。#*;	***	**年月
**	相位噪声分析仪	***********	*********集成电路参数测量仪	#;拟购相位噪声分析仪台。主要技术指标：、相位噪声测量载波频率范围不小于********; 、相位噪声测量频偏可达***；、可完成测试功能包括瞬态测试、*测试、噪声测试和***方差测试；、相位噪声测量**相位噪声、杂散信号、时间抖动；、质保：自验收合格之日起两年；、售后：所有硬件两年免费保修、所有软件免费保修升级、电话报修后小时上门服务、小时内排除故障。#**;	***	**年月
**	椭偏仪	***********	*********光学测试仪器	#;拟购椭偏仪台。主要技术指标：、测量能力：全穆勒矩阵 * 个元素、偏振光谱 */**、折射率、厚度、双折射及介电常数等；、光谱范围： ***********；、膜厚重复性精度： ≦ .** （* /， ****， σ）；膜厚测量精度：＜. (* /)；、折射率重复性精度： ≦ .*****（@*.,** /， ****， σ）；、激光定焦：采用激光测距仪精准探测最佳焦距，实现样品 ****** 快速扫描测量，采用 / 型 ******* 扫描台，支持 /// 寸样件多点定位自动扫描测量，软件一键生成二维/三维膜厚分布图；、质保：自验收合格之日起两年；、售后：所有硬件两年免费保修、所有软件免费保修升级、电话报修后小时上门服务、小时内排除故障。#*;	***	**年月
**	***服务器	***********	*********服务器	#;拟购*服务器台。主要技术指标：、颗*架构， ., /*；、* 内存；块.* ；、个万兆光口；、个显存高端计算**卡；、满配冗余电源风扇，含上架导轨；、质保：自验收合格之日起两年；、售后：所有硬件两年免费保修、所有软件免费保修升级、电话报修后小时上门服务、小时内排除故障。#*;	***	**年月
**	***测试系统	***********	*********集成电路参数测量仪	拟购**测试系统套。该系统包括半导体器件及**测试平台、中脉冲宽度扩展器及手动探头。主要技术指标：、半导体器件及*测试平台：支持短路电流最大* ；支持开路电压最大*；支持上升时间；支持脉冲宽度*；支持封装级、晶圆级测试；提供自动测试软件；提供数据分析软件；支持升级**//*。、中脉冲宽度扩展器：短路电流最大* ；开路电压最大；上升时间*；脉冲宽度**。、手动探头：探针台主机大小英寸；移动精度* 微米；三目体式显微镜；目镜倍率倍；放大倍率倍~*倍；万像素高清*成像系。、质保：自验收合格之日起两年；、售后：所有硬件两年免费保修、所有软件免费保修升级、电话报修后小时上门服务、*小时内排除故障。	***	**年月

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

华中科技大学采购与招标中心

****年**月**日

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