膜厚控制系统 *.*个标准晶振传感器，均为水冷式，安放于基底附近。 *.*膜厚速率显示精度在±*.***/*，蒸镀速率，可蒸金属: 以à*、***为标准，蒸镀速率: 速度稳定性:≤±**%(*.***.**/*)，≤±*%(*.*****/*)，≤±*%(***;***/*)；单片内膜厚匀性≤*%。 六、真空室 *.真空室由不锈钢制成，内部尺寸至少为*****************，装有基础结构和挡板的固定装置，以及蒸发电极、真空泵、样品盘等装置。 *.*真空腔体配备两个可以完全打开的门，前门为移门，通过与直线导轨，滑块等装置连接，可使前门左右开启与关闭，后期也可以连接手套箱，在手套箱内部操作前门开关，确保整个工作环境处于氮气或惰性气体氛围中；后门旋转门，通过旋转轴实现后门的开关，开启后腔体内部完全暴露在空气中，主要的目的为维护检修，并配一个长方形观察窗，配合腔体外部照明灯，方便观察腔体内部状况。 *.腔体极限真空优于*.********，从常压到********不超过*****（充氮气保护）

按行业标准提供服务（提供本地化安装调试及售后服务）