亚纳米器件关键薄膜原子层沉积设备（清采比选20251155号）采购公告
2025-07-04
北京 招标采购
亚纳米器件关键薄膜原子层沉积设备（清采比选20251155号）采购公告
北京-2025-07-04 00:00:00
北京-2025-07-04 00:00:00
亚纳米器件关键薄膜原子层沉积设备（清采比选********号）采购公告
发布时间：********** **:**:**阅读量：次
| 采购项目名称 | 亚纳米器件关键薄膜原子层沉积设备 | 采购项目编号 | 清采比选********号 |
|---|---|---|---|
| 公告开始时间 | ********** **:**:** | 公告截止时间 | ********** **:**:** |
| 对外联系人 | 田禾 咨询通道已关闭 | 联系电话 | *********** 咨询通道已关闭 |
| 签约时间要求 | 成交后*个工作日内 (如不按时签订合同，采购单位有权取消或变更采购结果) | 交货时间要求 | 签订合同后**个工作日内 |
| 采购单位 | 清华大学 | ||
| 最高限价 | ￥***,***.** 未公布 | ||
| 国内合同付款方式 | 合同签订后**%，到货后**%，验收合格后**% | ||
| 交货地址 | 北京市清华大学 | ||
| 供应商特殊资质要求 |
无 |
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采购清单*
| 物资名称 | 采购数量 | 计量单位 |
|---|---|---|
| 亚纳米器件关键薄膜原子层沉积设备 | * | 台 |
| 品牌 品牌* | |
|---|---|
| 型号 | |
| 品牌* | |
| 型号 | |
| 品牌* | |
| 型号 | |
| 单价 | ￥***,***.** |
| 技术参数及配置要求 |
*.适用于*英寸以及小尺寸样品相关薄膜沉积，*英寸样品不均匀性≤*%; *.设备本底真空优于* **，泄露率低; *.样品台加热温度最高可达***℃; *.能够水基生长****等类型高*值介质作为绝缘薄膜，击穿场强***;*.**/** |
| 质保期 | **个月 |
清华大学
********** **:**:**
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