原子层沉积系统（XF-WSBX-2500283）采购公告

2025-07-03

浙江/杭州招标采购

原子层沉积系统（XF-WSBX-2500283）采购公告
浙江/杭州-2025-07-03 00:00:00

原子层沉积系统（***************）采购公告

发布时间：********** **:**:**阅读量：**次

项目名称	原子层沉积系统	项目编号	***************
公示开始日期	******** ::	公示截止日期	******** ::
采购单位	浙江大学	付款方式	货到付款，甲方在到货验收后**日内向乙方一次性支付本项目的总额
联系人	中标后在我参与的项目中查看	联系电话	中标后在我参与的项目中查看
签约时间要求	成交后**个工作日内	到货时间要求	成交后**个工作日内
预算	￥*,*
供应商资质要求	符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件
收货地址	浙江大学紫金港校区开物苑*幢负一层地下实验室

采购清单*

采购物品	是否允许进口	采购数量	计量单位	所属分类
原子层沉积系统	否	*	台	电子工业生产设备

品牌	迈纳德
规格型号	*************
预算	￥*,*
技术参数	配置及组成 )套热型原子层沉积系统主机 )套寸反应腔 )套常温液源输送系统 )套加热源管路 )套臭氧源系统 )套真空系统 )套备品备件设备主机规格 )适用于英寸以及小尺寸样品薄膜沉积 )设备本底真空优于* *，设备漏率≤ ×*** ·*/； )控制方式：*+触摸屏 )多种沉积模式：快速模式、充分暴露模式和多元掺杂模式反应腔系统： )反应腔材质为***不锈钢，底座整块材料加工，腔体表面抛光后电解； )密封方式：采用燕尾槽密封并配备耐腐蚀密封圈； )样品台尺寸：标准英寸腔体，直径为* ； )样品台加热温度最高可达℃，采用控制方式，控制精度为±℃； )反应腔配备自动充气及过压保护功能；前驱体源输送系统 )常温源路，加热液源路； )前驱体输送管路加热温度范围*****℃，控制精度±℃； )常温源：配备三孔阀门、源手动阀、不锈钢源瓶( *)； )加热源：配备三孔*阀门、源手动阀、不锈钢源瓶( )，源瓶温度范围***℃； )管路及接头均采用* 级电解抛光不锈钢材料，所有气体管路连接处采用金属*密封；载气管路采用或者气体，通过控制；配备惰性气体自清洗系统，在控制界面中可以设置自动清洗的次数。臭氧源系统（和水共用路） )配备臭氧发生器、臭氧破坏器、*(量程* *)； )臭氧发生器产量可达** /，浓度可达**/； )臭氧发生器采用风冷方式无需配备冷却水，尺寸不大于******** 。真空系统： )真空泵采用双级油封式真空泵，抽速不低于 /； )真空测量：配备进口压力传感器，检测范围：**************； )真空抽气管道可以烘烤至*℃，且真空泵前级配置热阱，温度范围** ，控制精度±℃；控制系统）采用高稳定性的+工业触摸屏方式；触摸屏尺寸不小于.英寸；）*采用工业以太网控制方式，支持灵活扩展*****、***、**** 等通信方式；）系统可实现配方编辑、保存、读取等功能；*阀门及管路具备自动排空和清洗功能；）系统设有高级界面，可进行温度**参数自整定、前驱体标签修改等；）系统可实时监测动力气体压力值、系统压力值、加热状态、阀门开关状态和镀膜进度，当发生异常时触发报警并做出响应，报警日志可进行回看；验收指标：厂家须提供氧化铝薄膜的标准工艺配方，前驱体为三甲基铝+水，按以下内容进行现场制备与验收：薄膜均匀性：在英寸晶圆上沉积*******氧化铝，以晶圆上个均匀分散点（上、下、左、右、中心点，边缘*除外）进行椭偏仪测试膜厚，英寸晶圆上薄膜不均匀性≤*%。
售后服务	电话支持:***小时;质保期:年;服务时限:报修后*小时;商品承诺:原厂全新未拆封正品;

浙江大学

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附件下载：

本项目采购需遵照《重庆大学采购管理办法》、《重庆大学校级采购实施细则》、《重庆大学零星采购实施细则》执行，适用“有效最低价成交原则”，成交后将采用电子签章的方式签要对应的《重庆大学货物采购合同书》，请各位供应商仔细阅读本项目采购公告、《重庆大学货物采购合同书》、《云采通电子印章使用规则》，确认其报价及后续履约完全符合上述要求。成交后，供应商以任何理由不签署合同或者签署合同后不按照合同履约的，均将列为不诚信供应商，一至三年内禁止参加重庆大学采购活动。

我已阅读并同意《重庆大学货物采购合同书》、《云采通电子印章使用规则》、《重庆大学采购管理办法》、《重庆大学校级采购实施细则》、《重庆大学零星采购实施细则》