原子层沉积系统(XF-WSBX-2500283)采购公告
2025-07-03
浙江/杭州
招标采购
原子层沉积系统(XF-WSBX-2500283)采购公告
浙江/杭州-2025-07-03 00:00:00
浙江/杭州-2025-07-03 00:00:00
原子层沉积系统(***************)采购公告
发布时间:********** **:**:**阅读量:**次
项目名称 | 原子层沉积系统 | 项目编号 | *************** |
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公示开始日期 | ********** **:**:** | 公示截止日期 | ********** **:**:** |
采购单位 | 浙江大学 | 付款方式 | 货到付款,甲方在到货验收后**日内向乙方一次性支付本项目的总额 |
联系人 | 中标后在我参与的项目中查看 | 联系电话 | 中标后在我参与的项目中查看 |
签约时间要求 | 成交后**个工作日内 | 到货时间要求 | 成交后**个工作日内 |
预算 | ¥***,*** | ||
供应商资质要求 |
符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件
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收货地址 | 浙江大学紫金港校区开物苑*幢负一层地下实验室 |
采购清单*
采购物品 | 是否允许进口 | 采购数量 | 计量单位 | 所属分类 |
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原子层沉积系统 | 否 | * | 台 | 电子工业生产设备 |
品牌 | 迈纳德 | ||
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规格型号 | ************* | ||
预算 | ¥***,*** | ||
技术参数 | *配置及组成 *)*套热型原子层沉积系统主机 *)*套*寸反应腔 *)*套常温液源输送系统 *)*套加热源管路 *)*套臭氧源系统 *)*套真空系统 *)*套备品备件 *设备主机规格 *)适用于*英寸以及小尺寸样品薄膜沉积 *)设备本底真空优于* **,设备漏率≤ *×***** **·**/*; *)控制方式:***+触摸屏 *)多种沉积模式:快速模式、充分暴露模式和多元掺杂模式 *反应腔系统: *)反应腔材质为****不锈钢,底座整块材料加工,腔体表面抛光后电解; *)密封方式:采用燕尾槽密封并配备耐腐蚀密封圈; *)样品台尺寸:标准*英寸腔体,直径为*** **; *)样品台加热温度最高可达***℃,采用***控制方式,控制精度为±*℃; *)反应腔配备自动充气及过压保护功能; *前驱体源输送系统 *)常温源*路,加热液源*路; *)前驱体输送管路加热温度范围******℃,控制精度±*℃; *)常温源:配备三孔***阀门、源手动阀、不锈钢源瓶(** **); *)加热源:配备三孔***阀门、源手动阀、不锈钢源瓶(** **),源瓶温度范围******℃; *)管路及接头均采用*** **级电解抛光不锈钢材料,所有气体管路连接处采用金属***密封;载气管路采用**或者**气体,通过***控制;配备惰性气体自清洗系统,在控制界面中可以设置自动清洗的次数。 *臭氧源系统(和水共用*路) *)配备臭氧发生器、臭氧破坏器、***(量程***** ****); *)臭氧发生器产量可达** */*,浓度可达****/**; *)臭氧发生器采用风冷方式无需配备冷却水,尺寸不大于*********** **。 *真空系统: *)真空泵采用双级油封式真空泵,抽速不低于** **/*; *)真空测量:配备进口压力传感器,检测范围:***************; *)真空抽气管道可以烘烤至***℃,且真空泵前级配置热阱,温度范围****** **,控制精度±*℃; *控制系统 *)采用高稳定性的***+工业触摸屏方式;触摸屏尺寸不小于**.*英寸; *)***采用工业以太网控制方式,支持灵活扩展*********、*******、******** **等通信方式; *)系统可实现配方编辑、保存、读取等功能;***阀门及管路具备自动排空和清洗功能; *)系统设有高级界面,可进行温度***参数自整定、前驱体标签修改等; *)系统可实时监测动力气体压力值、系统压力值、加热状态、阀门开关状态和镀膜进度,当发生异常时触发报警并做出响应,报警日志可进行回看; *验收指标: 厂家须提供氧化铝薄膜的标准工艺配方,前驱体为三甲基铝+水,按以下内容进行现场制备与验收: 薄膜均匀性:在*英寸晶圆上沉积********氧化铝,以晶圆上*个均匀分散点(上、下、左、右、中心*点,边缘***除外)进行椭偏仪测试膜厚, *英寸晶圆上薄膜不均匀性≤*%。 |
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售后服务 | 电话支持:****小时;质保期:*年;服务时限:报修后*小时;商品承诺:原厂全新未拆封正品; |
浙江大学
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附件下载:
本项目采购需遵照《重庆大学采购管理办法》、《重庆大学校级采购实施细则》、《重庆大学零星采购实施细则》执行,适用“有效最低价成交原则”,成交后将采用电子签章的方式签要对应的
《重庆大学货物采购合同书》,请各位供应商仔细阅读本项目采购公告、《重庆大学货物采购合同书》、《云采通电子印章使用规则》,确认其报价及后续履约完全符合上述要求。成交后,供应商以任何理由不签署合同或者签署合同后不按照合同履约的,均将列为不诚信供应商,一至三年内禁止参加重庆大学采购活动。