一、系统功能及构成 该系统为单室结构，主要由真空室、基片台、加热系统、直流电源、工作气路、真空获得系统、安装机台、真空测量、水冷却及报警系统和控制系统等部分组成，可用于金属薄膜高低温交变材料扩散制备。 二、系统的主要组成及技术指标 扩散室极限真空度：≤*.* ***** ** (新设备经**小时烘烤除气后)； 系统真空检漏漏率：≤*.****** **.*/*；(设备经检漏仪检测) 系统从大气开始抽气：溅射室**分钟可达到*.****** **；(新设备经**小时烘烤除气后) 系统停泵关机**小时后真空度：≤***；（设备压升低于*.***/*标准） *. 真空室 *套 真空室为方形上开门结构，*** ** * *** ** **** **，全不锈钢结构可内烘烤到***～*** ℃，选用不锈钢材料制造，氩弧焊接，表面进行电化学抛光钝化处理，接口采用金属垫圈密封或氟橡胶圈密封；气动开门结构；基片安装在下上法兰。 真空室组件上焊有各种规格的法兰接口如下： *.* *****法兰接口：（接分子泵） *.* ****法兰接口：*个（观察窗口）； *.* ****法兰接口：*个（*路进气管路、放气阀）； *.* ****法兰接口：*个（用来安装样品台）； *.* ****法兰接口：*个（接高真空电离规管、旁抽口、陶封引线,冷却水路）； *.* ****法兰接口：*个（备用）。 *、平面样品基片台 （厂家：鹏程真空 ***不锈钢制造） *套 *.* 样品尺寸和数量：最大直径*** **样品*片； *.* 样品通过进口抗化学反应保护设计，加热温度：室温～**** °*，控温精度±*.* ℃，由热电偶闭环反馈控制，可控可调，可绝缘密封承受***** *高压；采用进口控温表进行控温可编程分段控制。 *.* 原位样品冷却功能设计，通过外置冷媒循环分段降温，可实现样品急速冷却也可实现进口控温表控温下编程分段温度控制。降温温度：****～***°*，控温精度±*.* ℃， *、加热装置 *套 *.* 加热装置在真空室下法兰上，对基片托板进行加热，通过热电偶控制控温电源实现闭环控制，系统由加热器和*个加热控温电源组成，加热电源配备进口控温表，控温方式为***自动控温及数字显示；样品加热温度：室温～**** °*，控温精度±*.* ℃，连续可调。 *.*、**** *脉冲直流加热电源*台； *、制冷装置 *套 *.* 制冷系统采用蒸汽压缩式制冷，降温温度：****～***°*控温精度可达±*℃，多路输出、多路负载，。 且可实现过热、过载、缺水等多重报警功能，远程控制通讯方式控制。 *、真空加压装置 *套 采用模块化设计的***伺服压装系统，由伺服电缸、******* 工业软件、控制箱、监控仪和线缆模块五部分组成。模块化伺服控制系统，实现力、位移、时间数据实时采集和分析，对装配过程中的力与位移、力与时间进行有效监测；具有压力控制、位移控制、速度控制。 *.*导向系统：四立柱压机框架系统一套（碳钢），带导向横梁；压力传感器，光栅尺。 *.*控制方式可实现位移控制与压力控制双模式 *.*上压力行程：****光栅尺显示精度*** *.*整个电缸加压台加工保证加工精度，最终安装完成后，下横梁上表面与导向横梁下表面，平面度不大于*.***/******，下横梁上表面与导向横梁下表面平行度不大于***, 导向横梁中心Φ***直径范围内下表面与下横梁平行度不大于*.***, 与之对应的连接件上面平行度与平面度要求加工精度均小于*.***, 以此来保证最终上下压头平行不大于***. *.*最大压力**，最小压力****，全量程压力输出控制精度：±*** *、工作气路 *套 *.*、*** ****氩、*** ****氧 、*** ****氮质量流量控制器、****电动截止阀、管路、接头等：共*路；气体流量控制器准确度：准确度±*.*%*.*，线性±*%*.*，重复精度±*.*%*.*。 *.*、****气动充气阀、***电动截止阀、管路、接头等：*路（浙江科本、厚礼博）。 *、抽气机组及阀门、管道 *套 *.* 复合分子泵及变频控制电源：*台（*** */*）； *.* 、涡旋干泵： *台（* */*）； *.* ****气动角阀：*台； *.* 机械泵与真空室之间的旁抽管路：*套； *.* *****电动闸板阀：*台（用于复合分子泵与真空室隔离）； *.* ****气动角阀：*台； *.* 压差式充气阀：*台； *、安装机台架组件 采用分体设计机架，四周快卸围板表面喷塑处理；四只承载脚轮，可固定，可移动。(尺寸:*** ** * *** ** * **** **，重量:*** **) *、真空测量 *套 *.* 溅射室真空度采用进行测量（********，量程***** **～**** ** **）； *.* 镀膜采用薄膜规进行测量（*******，**.*** 或 ****，精度 *.*%） **.膜厚仪 *套 **.*、**********双通道 **.*两路水冷探头 **.*检测范围：*～******* Å； **.*膜厚显示分辨率：*Å； **.*速度显示分辨率：*.*Å/*； **.*监测时间显示范围：*分～**小时； **.*安装位置：安装在真空室侧壁，探头位置靠近样品，膜厚探头水冷，进出冷却水各*路，探头上安装水流继电器，具有断水报警功能；配置*组水冷探头。 **、系统采用***控制方式 *套 通态**寸工控一体机触摸屏+*** **.*、在实验镀膜模式情况下，可实现一键启动抽空到达工作真空度后，手动进行镀膜参数设置，实验结束后一键自动充气，整体节省操作时间。此时系统处于开环控制状态。 **.*、系统提供计算机实时通讯，显示记录真空度以及加热温度***调节设定。 **.*、系统提供计算机实时通讯，设定显示直流电源、射频电源功率参数调整，气体流量控制调节，制定工艺菜单及自动记录设定各项工艺参数存储。 **.*、系统提供计算机***的工艺气体稳压控制调节。 **.*、计算机设定显示挡板状态，样品转速等 **、提供冷却水循环机：* * *台 **、静音气泵：**** * *台 **、备品备件： *套 （****铜圈*个、****铜圈*个、*****铜圈*个，聚酯 ** 管（Ø***） **） **.整体性能要求： **.*样品片内膜厚不均匀度：≤ ±*%（同一样品中心直径** **范围内随机取膜厚测试点，不少于*个测试点）； **.*样品片间膜厚不均匀度：≤ ±*%（不同样品中心直径** **范围内随机取膜厚测试点，不同批次样品总数不少于*个 三、技术服务及质量保证 *、按*******质量管理体系组织设计、加工、装调、检验、包装、运输； *、提供该设备的技术使用说明书及外购配件仪器仪表说明书； *、在甲方现场验收后，*年内免费维修正常使用出现的故障，非正常的故障维修只核收工本费及差旅费，终身维修只核收工本费及差旅费； *、每年免费提供*次设备巡检，保证客户设备处于完好状态。 四、现场安装具备的条件 *、电源*** *、** **，功率大于*.* **，波动范围：小于±*％，配置多路接线插座； *、可靠地线, 对地电阻小于* Ω； *、安装场地面积大于* **，高度要求高于*.* *； *、要求安装场地的标准温度为** ℃～** ℃，标准相对湿度为**%～**%； *、要求有普通氮气，压强要在*～*个大气压之间； *、外排废气管道； *、注： 设备前方、后方需要根据实际留出气源等的操作空间，大约*.*米。 五、培训 *、培训时间：*天 培训人数：***人 *、培训内容及要求： 培训内容及要求：了解设备的工作原理、组成及各部组件、控制系统的工作原理和使用方法。熟练掌握整套系统的操作规程。能够对设备的一般故障进行诊断和简单维修，进行易损件的更换。对设备能够进行日常的维护和保养。 提供终身人员培训：可以为客户培训操作人员，不限人次。 六、相关的技术资料 *、设备操作、维护使用说明书（*套） *、各类外购件使用说明书 *、设备出厂合格检验证明（*套） *、装箱单（*套）

*.质量保证期：自交货验收完毕之日算起，所有产品质保**个月。投标供应商对提供的物资在质保期内，因产品质量而导致的缺陷，应当免费提供包修、包换、包退服务，因此导致的损失采购单位 有权向中标供应商追偿。超出质保期后，投标供应商应当提供上门维修服务，仅收取成本费。 *.投标供应商须提供全套完整的产品中文技术资料，包括产品说明书、图纸、操作手册、维修指南、电路总框图等。 *.投标供应商应当承诺提供该物资的技术培训、技术支持和维修巡检服务，服务内容包括每一年技术培训不少于*次，并在投标文件中提供相应书面方案。根据项目情况，提供产品建档计划等。 *.维修备件支持、零配件及耗材供应保障时间：*年。 *.主要零配件及耗材价格：提供全国统一报价，并提供本项目具体报价表（按全国统一报价折扣率换算，且不得超过全国统一报价的**%）。 *.保修期外维修收费：免收除零配件及耗材外的一切费用。 *.投标供应商应当承诺，对售后服务需求提供*小时电话响应，** 小时内到达现场实施维修，**小时仍未排除故障、恢复正常运转的，由投标供应商提供同类型备品、备件等。 *.售后服务网点：（厂所人员电话）