超高真空冷热交变压力扩散系统
2025-07-03
广东/深圳
中标结果
超高真空冷热交变压力扩散系统
广东/深圳-2025-07-03 00:00:00
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基本信息:
采购明细:
序号 | 设备名称 | 数量/单位 | 预算单价 | 品牌 | 型号 | 规格参数 | 质保及售后服务 | 附件 |
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超高真空冷热交变压力扩散系统
| * | ****** | 鹏程真空 | ******* |
一、系统功能及构成
该系统为单室结构,主要由真空室、基片台、加热系统、直流电源、工作气路、真空获得系统、安装机台、真空测量、水冷却及报警系统和控制系统等部分组成,可用于金属薄膜高低温交变材料扩散制备。
二、系统的主要组成及技术指标
扩散室极限真空度:≤*.* ***** ** (新设备经**小时烘烤除气后);
系统真空检漏漏率:≤*.****** **.*/*;(设备经检漏仪检测)
系统从大气开始抽气:溅射室**分钟可达到*.****** **;(新设备经**小时烘烤除气后)
系统停泵关机**小时后真空度:≤***;(设备压升低于*.***/*标准)
*. 真空室 *套
真空室为方形上开门结构,*** ** * *** ** **** **,全不锈钢结构可内烘烤到***~*** ℃,选用不锈钢材料制造,氩弧焊接,表面进行电化学抛光钝化处理,接口采用金属垫圈密封或氟橡胶圈密封;气动开门结构;基片安装在下上法兰。
真空室组件上焊有各种规格的法兰接口如下:
*.* *****法兰接口:(接分子泵)
*.* ****法兰接口:*个(观察窗口);
*.* ****法兰接口:*个(*路进气管路、放气阀);
*.* ****法兰接口:*个(用来安装样品台);
*.* ****法兰接口:*个(接高真空电离规管、旁抽口、陶封引线,冷却水路);
*.* ****法兰接口:*个(备用)。
*、平面样品基片台 (厂家:鹏程真空 ***不锈钢制造)
*套
*.* 样品尺寸和数量:最大直径*** **样品*片;
*.* 样品通过进口抗化学反应保护设计,加热温度:室温~**** °*,控温精度±*.* ℃,由热电偶闭环反馈控制,可控可调,可绝缘密封承受***** *高压;采用进口控温表进行控温可编程分段控制。
*.* 原位样品冷却功能设计,通过外置冷媒循环分段降温,可实现样品急速冷却也可实现进口控温表控温下编程分段温度控制。降温温度:****~***°*,控温精度±*.* ℃,
*、加热装置 *套
*.* 加热装置在真空室下法兰上,对基片托板进行加热,通过热电偶控制控温电源实现闭环控制,系统由加热器和*个加热控温电源组成,加热电源配备进口控温表,控温方式为***自动控温及数字显示;样品加热温度:室温~**** °*,控温精度±*.* ℃,连续可调。
*.*、**** *脉冲直流加热电源*台;
*、制冷装置 *套
*.* 制冷系统采用蒸汽压缩式制冷,降温温度:****~***°*控温精度可达±*℃,多路输出、多路负载,。 且可实现过热、过载、缺水等多重报警功能,远程控制通讯方式控制。
*、真空加压装置 *套
采用模块化设计的***伺服压装系统,由伺服电缸、******* 工业软件、控制箱、监控仪和线缆模块五部分组成。模块化伺服控制系统,实现力、位移、时间数据实时采集和分析,对装配过程中的力与位移、力与时间进行有效监测;具有压力控制、位移控制、速度控制。
*.*导向系统:四立柱压机框架系统一套(碳钢),带导向横梁;压力传感器,光栅尺。
*.*控制方式可实现位移控制与压力控制双模式
*.*上压力行程:****光栅尺显示精度***
*.*整个电缸加压台加工保证加工精度,最终安装完成后,下横梁上表面与导向横梁下表面,平面度不大于*.***/******,下横梁上表面与导向横梁下表面平行度不大于***, 导向横梁中心Φ***直径范围内下表面与下横梁平行度不大于*.***, 与之对应的连接件上面平行度与平面度要求加工精度均小于*.***, 以此来保证最终上下压头平行不大于***.
*.*最大压力**,最小压力****,全量程压力输出控制精度:±***
*、工作气路 *套
*.*、*** ****氩、*** ****氧 、*** ****氮质量流量控制器、****电动截止阀、管路、接头等:共*路;气体流量控制器准确度:准确度±*.*%*.*,线性±*%*.*,重复精度±*.*%*.*。
*.*、****气动充气阀、***电动截止阀、管路、接头等:*路(浙江科本、厚礼博)。
*、抽气机组及阀门、管道 *套
*.* 复合分子泵及变频控制电源:*台(*** */*);
*.* 、涡旋干泵: *台(* */*);
*.* ****气动角阀:*台;
*.* 机械泵与真空室之间的旁抽管路:*套;
*.* *****电动闸板阀:*台(用于复合分子泵与真空室隔离);
*.* ****气动角阀:*台;
*.* 压差式充气阀:*台;
*、安装机台架组件
采用分体设计机架,四周快卸围板表面喷塑处理;四只承载脚轮,可固定,可移动。(尺寸:*** ** * *** ** * **** **,重量:*** **)
*、真空测量 *套
*.* 溅射室真空度采用进行测量(********,量程***** **~**** ** **);
*.* 镀膜采用薄膜规进行测量(*******,**.*** 或 ****,精度 *.*%)
**.膜厚仪 *套
**.*、**********双通道 **.*两路水冷探头
**.*检测范围:*~******* Å;
**.*膜厚显示分辨率:*Å;
**.*速度显示分辨率:*.*Å/*;
**.*监测时间显示范围:*分~**小时;
**.*安装位置:安装在真空室侧壁,探头位置靠近样品,膜厚探头水冷,进出冷却水各*路,探头上安装水流继电器,具有断水报警功能;配置*组水冷探头。
**、系统采用***控制方式 *套
通态**寸工控一体机触摸屏+***
**.*、在实验镀膜模式情况下,可实现一键启动抽空到达工作真空度后,手动进行镀膜参数设置,实验结束后一键自动充气,整体节省操作时间。此时系统处于开环控制状态。
**.*、系统提供计算机实时通讯,显示记录真空度以及加热温度***调节设定。
**.*、系统提供计算机实时通讯,设定显示直流电源、射频电源功率参数调整,气体流量控制调节,制定工艺菜单及自动记录设定各项工艺参数存储。
**.*、系统提供计算机***的工艺气体稳压控制调节。
**.*、计算机设定显示挡板状态,样品转速等
**、提供冷却水循环机:* * *台
**、静音气泵:**** * *台
**、备品备件: *套
(****铜圈*个、****铜圈*个、*****铜圈*个,聚酯 ** 管(Ø***) **)
**.整体性能要求:
**.*样品片内膜厚不均匀度:≤ ±*%(同一样品中心直径** **范围内随机取膜厚测试点,不少于*个测试点);
**.*样品片间膜厚不均匀度:≤ ±*%(不同样品中心直径** **范围内随机取膜厚测试点,不同批次样品总数不少于*个
三、技术服务及质量保证
*、按*******质量管理体系组织设计、加工、装调、检验、包装、运输;
*、提供该设备的技术使用说明书及外购配件仪器仪表说明书;
*、在甲方现场验收后,*年内免费维修正常使用出现的故障,非正常的故障维修只核收工本费及差旅费,终身维修只核收工本费及差旅费;
*、每年免费提供*次设备巡检,保证客户设备处于完好状态。
四、现场安装具备的条件
*、电源*** *、** **,功率大于*.* **,波动范围:小于±*%,配置多路接线插座;
*、可靠地线, 对地电阻小于* Ω;
*、安装场地面积大于* **,高度要求高于*.* *;
*、要求安装场地的标准温度为** ℃~** ℃,标准相对湿度为**%~**%;
*、要求有普通氮气,压强要在*~*个大气压之间;
*、外排废气管道;
*、注: 设备前方、后方需要根据实际留出气源等的操作空间,大约*.*米。
五、培训
*、培训时间:*天
培训人数:***人
*、培训内容及要求:
培训内容及要求:了解设备的工作原理、组成及各部组件、控制系统的工作原理和使用方法。熟练掌握整套系统的操作规程。能够对设备的一般故障进行诊断和简单维修,进行易损件的更换。对设备能够进行日常的维护和保养。
提供终身人员培训:可以为客户培训操作人员,不限人次。
六、相关的技术资料
*、设备操作、维护使用说明书(*套)
*、各类外购件使用说明书
*、设备出厂合格检验证明(*套)
*、装箱单(*套)
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*.质量保证期:自交货验收完毕之日算起,所有产品质保**个月。投标供应商对提供的物资在质保期内,因产品质量而导致的缺陷,应当免费提供包修、包换、包退服务,因此导致的损失采购单位
有权向中标供应商追偿。超出质保期后,投标供应商应当提供上门维修服务,仅收取成本费。
*.投标供应商须提供全套完整的产品中文技术资料,包括产品说明书、图纸、操作手册、维修指南、电路总框图等。
*.投标供应商应当承诺提供该物资的技术培训、技术支持和维修巡检服务,服务内容包括每一年技术培训不少于*次,并在投标文件中提供相应书面方案。根据项目情况,提供产品建档计划等。
*.维修备件支持、零配件及耗材供应保障时间:*年。
*.主要零配件及耗材价格:提供全国统一报价,并提供本项目具体报价表(按全国统一报价折扣率换算,且不得超过全国统一报价的**%)。
*.保修期外维修收费:免收除零配件及耗材外的一切费用。
*.投标供应商应当承诺,对售后服务需求提供*小时电话响应,** 小时内到达现场实施维修,**小时仍未排除故障、恢复正常运转的,由投标供应商提供同类型备品、备件等。
*.售后服务网点:(厂所人员电话)
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