上海科技大学2025年07月政府采购意向
2025-06-27
上海 招标采购
上海科技大学2025年07月政府采购意向
上海-2025-06-27 00:00:00
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上海科技大学****年**月政府采购意向
来源:上海科技大学
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为便于供应商及时了解政府采购信息,根据《财政部关于开展政府采购意向公开工作的通知》(财库〔****〕**号)等有关规定,现将上海科技大学****年**月政府采购意向如下:
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
| 序号 | 采购项目名称 | 采购需求概况 | 预算金额(元) | 预计采购时间(填写到月) | 备注 |
|---|---|---|---|---|---|
| * | 晶圆级*射线衍射仪 | 名称:晶圆级*射线衍射仪 功能和目标:晶圆级*射线衍射仪可以测量大尺寸晶圆的晶格参数、应力和位错,以及识别多晶超薄薄膜中的相组成。这些信息对于调整材料的制备和制造工艺尤为关键。晶圆级*射线衍射仪可实现高通量、高效率的数据采集,是实现** *** *******的重要一环,对于半导体器件制程中多道工艺过程的参数控制,工艺流程的快速迭代具有重要意义。 为满足** *** ******* *** *********的建设需求,拟采购的晶圆级*射线衍射仪需主要满足以下技术指标和性能: *.*射线发生器最大功率≥***,电压可变范围****~****,电流可变范围*~**** *.测角仪半径≥*****,最小可控步长≤*.****度 *.样品台尺寸:可支持*英寸;*轴样品台,*轴最大移动范围≥***,***: *~***度,***:≥**度 *.探测器空间分辨率≤*****,配置支持*维、*维、*维扫描,可支持快速倒易空间测试 采购数量:*套 |
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