关于浙江省质量科学研究院微纳晶圆缺陷检测（微纳米检测标准器组）项目的单一来源采购公示

一、项目信息

采购人：浙江省质量科学研究院

项目名称：浙江省质量科学研究院微纳晶圆缺陷检测（微纳米检测标准器组）

拟采购的货物或服务的说明：
标的名称：浙江省质量科学研究院微纳晶圆缺陷检测（微纳米检测标准器组）

数量：*
预算金额(元)：******
单位：项
货物或服务的说明:浙江省质量科学研究院微纳晶圆缺陷检测（微纳米检测标准器组）

拟采购的货物或服务的预算总金额（元）：******

采用单一来源采购方式的原因及说明：按照************《激光共聚焦显微镜校准规范》、************《扫描电子显微镜校准规范》、《干涉式三维表面形貌测量仪校准规范》等要求，满足相关尺寸要求，作为开展各类显微镜、微纳米尺度光学轮廓仪的检测、校准及进行相关研究用主要标准器。国内满足要求的只有苏州寰宇华创精密科技有限公司。

标准台阶高度、二维栅格，作为服务集成电路等产业用的实物计量标准器，采用半导体工艺制作，需要经过中国计量科学研究院校准赋值才被准许当作计量标准器开展相应工作，而中国计量科学研究院为国内唯一开展纳米台阶标准器校准赋值等工作的法定计量机构，是该项目向上溯源的唯一国家最高计量标准保存机构。原先世界上唯一能提供标准器的机构为美国的****标准器，溯源至美国的****。贸易战后，该公司已对中国禁运。作为应对，中国计量科学研究院纳米计量团队联合苏州寰宇华创精密科技有限公司制作替代标准器，服务中国境内产业需求。

基于以上原因：以单一来源方式进行“浙江省质量科学研究院微纳晶圆缺陷检测（微纳米检测标准器组）”的采购。

二、拟定供应商信息

名称：苏州寰宇华创精密科技有限公司

地址：昆山市玉山镇玉杨路***号

三、公示期限

****年**月**日至****年**月**日

四、其他补充事宜

*.本项目公告期限为*个工作日，供应商对该项目拟采用单一来源采购方式及其理由和相关需求有异议的，可以在公示期限内（截止时间为本公示发布之日后的第*个工作日），以书面形式向采购人及同级财政监管部门提出异议。

五、联系方式

*.采购人信息

名称：浙江省质量科学研究院

联系人：陈工

联系电话：*************

传真：/

地址：杭州市钱塘区下沙路***号

六、附件

专业人员论证意见（格式见附件）