材料科学与工程学院直写光刻机采购项目等1项
河南/郑州-2025-06-27 00:00:00

材料科学与工程学院直写光刻机采购项目等*项

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为便于供应商及时了解政府采购信息， 根据《财政部关于开展政府采购意向公开工作的通知》 （财库〔****〕**号）等有关规定，现将材料科学与工程学院直写光刻机采购项目等*项政府采购意向公开如下：

序号	意向编号	采购项目名称	采购需求概况	预算金额(万元)	预计采购日期	备注
*	*************	材料科学与工程学院直写光刻机采购项目	*. 采购标的名称 直写光刻机 *. 主要功能或目标 支持无掩模光刻，可直接通过计算机控制曝光图形，适用于小批量、高精度、快速原型制作。 具备高分辨率（≤* μ*）及高套刻精度（≤±*** **），满足微纳加工、****、光子芯片、科研实验等需求。 兼容多种光刻胶（正胶/负胶）及衬底材料（硅片、玻璃、柔性基板等）。 *. 采购数量：*台 *. 质量及技术要求 分辨率：≤* μ*（最优可达*** **以下）。 曝光面积：支持≥*英寸晶圆或定制尺寸基板。 对准精度：≤±*** **（具备自动对准功能）。 光源波长：紫外波段（******* **）。 稳定性：连续工作*小时以上无漂移，环境温湿度适应性（**~**°*，湿度**~**%）。 *. 服务要求 安装调试：供应商需提供现场安装、校准及操作培训。 技术维护：保修期≥*年，关键部件保修≥*年。响应时间≤**小时。 备件供应：保障至少*年的耗材供应。 *. 安全要求 符合国际电气安全标准。 具备辐射防护措施。 提供安全操作手册及应急预案。 *. 交付时限 合同签订后≤*个月完成交付（含运输、清关及安装）。 不可抗力因素需提前书面说明并协商调整。	**	****年**月

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

郑州大学招投标办公室

****年**月**日