偏心检测范围： 被测镜片* 值范围： ±****** 被测镜片焦距范围： ±****** 被测样品口径范围：最大***** 上光路导轨有效行程:***** 下光路导轨有效行程:***** 测量精度： （*） 线偏心最小测量精度：*.*****， 重复精度：最高*.******。（与工装 有关） （*） 角偏心最小测量精度：* ″， 重复精度：最高* ″（与工装有关）。 硬件设施： 设备尺寸：长约*** ** 宽约*** ** 高约**** ** 净重: *****（约） 配（附）件的数量及技术要求： 成像光学系统两套 照明光学系统两套 大理石台面一套 ** *** 两套 ** 二维平台一套 三爪卡盘一套 配电箱电控系统一套 直线导轨一根 *** 两套 辅助物镜*** **** **** **** 各两套 电控系统一套 操作说明书一份

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