*.主系统及其配置： *.*、*****采用*********** *****技术，气浮快速移动，气浮三档控制：*轴独立气浮移动，*轴独立气浮移动，**轴同步移动，**轴同步锁死；移动范围：*********，带自动锁死功能（有专利证明优先考虑） *.* ******平台两点同步升降，重复性精度为*μ*；粗调：抬杆，一次性抬杆高度为≤***，带锁死功能（弹簧开关伸缩）；细调：行程为****，移动分辨率为*μ*；******抬杆需位于操作方合适位置，符合操作人性化和人体功能学原理，便于操作。 *.*、*个针座:（*个高压针座，*个高流针座，*个常压针座），探针座移动精度：******；移动方式：进口导轨+丝杆+螺套驱动；线性移动，可适配**,******，**等测试臂；带接地端口，底座平整度≤****；针座适配板防呆设计，避免螺丝拧错破坏丝杆；定位器固定：可磁性或者真空吸附任意切换； *.* 电磁屏蔽，黑暗箱，隔振模块； *.* 惰性气氛箱体，含冰箱配件 *.* 含偏振光路

按行业标准提供服务（提供本地化安装调试及售后服务）