SG2025003425001高真空燕发镀膜系统
2025-06-25
四川/成都 招标采购
SG2025003425001高真空燕发镀膜系统
四川/成都-2025-06-25 00:00:00
发布时间:********** **:**:** 截止时间:********** **:**:**
基本信息:
国产含税
增值税专用发票
合同签订后预付 **%, 发货前付**% ,设备验收合格后付**%
合同签订后**天内送达
免费上门安装(含材料费)
人民币
采购明细:
序号
设备名称
数量/单位
预算单价
品牌
型号
规格参数
质保及售后服务
附件
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***************高真空燕发镀膜系统
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普迪真空
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*.真空腔室:真空专用***不锈钢腔室镜面抛光处理 ★*.真空系统采用分子泵+机械泵,高真空气动插板阀,真空测量:一个“二低一高”真空计(量程从大气到********); *.真空极限:极限真空≤*×******;漏率:优于*×********/*(国家标准); 保压测试关机**小时后,真空度≤***; *.抽速:抽气时间大气压~********小于*****; *.基片台:容纳*片基片,每片对应三种掩膜图案,可在蒸镀时自动切换; 样品片台可旋转 ,*~**转/分可调; *.金属蒸发源及电源:配备进口日本***蒸发电源。*组金属蒸发源,有机束源炉*组,对心角度可调。配备独立挡板,温控仪精确控温电源*套; ★*.成膜不均匀性≤±*%; *.膜厚仪:*路晶振探头,多源共蒸发,膜厚精度*.**埃,可自动***调节工具因子; ★*.控制方式:***+工控机;可输入速率及终厚,***调节自动控制蒸发,可实现: *.真空单段平滑曲线; *.全图形化、动画界面; *.***集成膜厚仪数据; *.多层掩膜版全自动切换; *.高真空低真空可独立控制,自由选择,自动运行; *.漏率自动检测,保养自动提醒。 **.细节设计:抽气口加装过滤网,气路设计避免扬尘,放气阀采用可调流量电磁阀门程序控制开启大小实现放气流量可控。
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