无掩膜紫外光刻机
2025-06-18
广东/广州
招标采购
无掩膜紫外光刻机
广东/广州-2025-06-18 00:00:00
广东/广州-2025-06-18 00:00:00
中山大学先进能源学院无掩膜紫外光刻机设备采购项目
发布时间： ********** **:**
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项目概况
| 采购类型 | 采购 | ||
| 项目编号 | 中大招（货）[****]***号 | ||
| 项目名称 | 中山大学先进能源学院无掩膜紫外光刻机设备采购项目 | ||
| 申购主题 | 无掩膜紫外光刻机 | ||
| 项目类型 | 货物采购 | 项目预算 | *** |
| 最高限价 | ***,***.**(人民币) | ||
| 报名及响应开始时间 | ********** **:** | 报名及响应结束时间 | ********** **:** |
| 采购单位 | 中山大学 | ||
| 经办人 | 王老师 | 经办人电话 | ******** |
| 期望收货时间 | 合同签订后**天交货 | ||
| 是否送货 | 是 | 送货地址 | 广东省深圳市光明区公常路**号中山大学深圳校区工学园***** |
| 电子签章 | 本项目需要使用**签字 **操作手册下载 | ||
| 备注 | *、本项目不允许产自中华人民共和国关境外的进口货物报价，否则报价无效；*、国内供货请报含税人民币价；*、本项目学校不收 取任何费用。*、本项目需要使用**证书，请供应商根据指引（****://*******.****.***.**/*******/****）提前办理**证书。 *、 *、技术参数中如标注有“★”号的条款必须实质性响应，负偏离（不满足要求）将导致报价无效。 | ||
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采购明细
| * 采购设备 | 无掩膜紫外光刻机 |
| 数量 | *台 |
| 参考品牌 |
“无掩膜紫外光刻机”技术要求
| 序号 | 技术要求内容 | 评分等级 | 是否星号条款 | 是否需要附件说明 |
|---|---|---|---|---|
| * | ★*、光刻精度：至少支持两个光刻镜头：光刻镜头*：最小线宽不大于*.* µ*，工作距离≥** **；光刻镜头*：最小线宽不大于*.* µ*，工作距离≥** ** | 重要 | 是 | 是 |
| * | *、具备交互式套刻指引功能：支持实时光刻图形的预览 | 重要 | 否 | 否 |
| * | ▲*、具备图像识别对焦功能 | 非常重要 | 否 | 是 |
| * | ▲*、支持光刻镜头电动切换 | 非常重要 | 否 | 是 |
| * | *、曝光波长：*** ** | 重要 | 否 | 否 |
| * | *、数字掩模板分辨率：≥**** * ****，微镜尺寸≤*.* µ* | 重要 | 否 | 否 |
| * | *、显微观测：支持显微观测且不会引起光刻胶变性 | 重要 | 否 | 否 |
| * | *、可支持的最大样品厚度：≥** ** | 重要 | 否 | 否 |
| * | ▲*、最大曝光面积：≥*** ** * *** ** | 非常重要 | 否 | 是 |
| ** | ▲**、支持样品电动旋转 | 非常重要 | 否 | 是 |
| ** | **、样品台精度：绝对定位精度±*.* µ*，双向重复定位精度±*.** µ* | 重要 | 否 | 否 |
| ** | **、样品吸附：支持样品吸附 | 重要 | 否 | 否 |
| ** | ▲**、辅助功能： 原位光绘功能：支持原位绘制光刻图形； 物像绑定功能：支持样品图形和光刻图形绑定，实时对应； 成像拼接功能：支持样品图形的大范围拼接，实现大范围样品查找； 畸变矫正功能：支持光刻图形算法畸变矫正，实现精准套刻 | 非常重要 | 否 | 是 |
| ** | **、画图功能：支持阵列画图、套刻画图 | 重要 | 否 | 否 |
| ** | ▲**、软件及其功能：配套中文版操作软件 | 非常重要 | 否 | 是 |
| ** | ▲**、配置清单：(*)无掩膜紫外光刻机主机（*** **光源）*套、光刻机配套中文版操作软件*套；(*)工作站*套（配置不低于******** **核/*** ****/**** ***/**寸显示器）、有线键鼠一套；(*)物镜*颗（*颗观测镜头、*颗光刻镜头）；(*)光电分离机箱*个；(*)气泵*个；(*)工具及附件*套（公制内六角扳手、英制内六角扳手、磁吸小灯带背胶、理线管*米：*根、螺丝刀套装、*盘）；(*)光学平台*个：尺寸不低于****（长）*****（宽）*****（高）；(*)机柜*个：尺寸不低于****（长）*****（宽）*****（高） | 非常重要 | 否 | 是 |
|
资质要求
| 序号 | 要求名称 | 条件类型 | 要求内容 | 是否需要附件说明 |
|---|---|---|---|---|
| * | 第*条资质参数 | 符合性参数 |
上传营业执照(副本原件扫描件) |
是 |
| * | 第*条资质参数 | 符合性参数 |
填写并按要求上传“廉洁承诺书”（需签字并盖公章） |
是 |
| * | 第*条资质参数 | 符合性参数 |
填写并要求上传“法定代表人授权书”（需按授权书要求签字并加盖公章） |
是 |
| * | 第*条资质参数 | 符合性参数 |
填写并按要求上传“供应商资格声明”（需签字并盖公章） |
是 |
|
商务要求
| 序号 | 要求名称 | 要求内容 | 是否需要附件说明 |
|---|---|---|---|
| * | 免费保修年限 |
*年 *年 *年 *年及以上 |
是 |
| * | 合同履约 |
该项目必须严格按学校合同范本执行 下载地址：****://***.*************.***:****/**********/********/******/****.***。注意： （*）合同模板中付款方式适用分期结算/付款条款 其它付款方式选项不得选用； （*）本项目签署《中山大学国内采购合同》的需开具增值税专用发票，如无法开具，需在签署合同时提供合理说明，否则将可能会影响合同签署。 |
否 |
| * | 产品销售渠道（要求上传“制造厂商出具的授权函”） |
厂家（生产商）直接销售（出具厂家声明格式自拟） 厂家（生产商）长期授权销售（授权书中连续有效期不少于一年） 其他授权销售方式 |
是 |
| * | 售后服务要求 |
*、在保修期内，当设备发生故障、买方不能自行解决时，卖方在接到买方的通知后：（*）在**小时内响应；（*）**小时内到达现场，并尽快予以解决；（*）一般故障*天内解决（重大故障除外）。
*、超过保修期后，如合同设备发生故障，买方要求卖方对设备进行检查、维修时，卖方在接到买方的通知后：（*）在**小时内响应；（*）在**小时内到达现场，并尽快予以解决； |
是 |
| * | 培训要求 |
*、卖方负责对仪器进行安装调试，并对仪器操作人员进行技术培训。
*、培训人员：不少于*人；
*、培训时间：*天；
*、培训内容：仪器的测量原理、基本性能和用途、仪器操作、仪器维护等。 |
是 |
| * | 保修范围 |
*、保修期内的保修内容与范围：（*）整机保修，在保修期内出现属于合同设备原因的故障，卖方负责无偿修理及免费提供备件（除耗材外）。
*、超过保修期后的保修内容与范围：保修期外的涉及到零部件出现故障，卖方需按成本价加必要的人工等其他费用提供优惠报价。 |
是 |
