*.极限真空：常温下空载测试，连续排气***，真空度小于等于*.******；
*.漏率：①极限真空后追踪*****（不开冷阱阀），漏率≤*.*****/*；
②极限真空后追踪*****（开冷阱阀），漏率≤*.*****/*；
*.抽速：漏率测试后，开门****，关门抽气****，真空度≤*.******；
*.数据存储：工艺记录与曲线显示与工艺同步，可查询历史数据，每秒记录一次；
*.数据显示：真空度显示*位小数，溅射电压显示整数，溅射电流显示*位小数，轰击电压显示整数，轰击电流显示*位小数，其他显示*位小数；
*.数据导出：工艺过程数据可导出***格式，方便追溯；
*.趋势曲线：查询历史曲线，显示鼠标所在位置数值（真空度、气体流量、硅油流量、电压、电流、功率、炉温）；
*.周期统计：自动统计左右门生产周期，可导出*****文件，表头包括工艺名称，起始时间、结束时间，每炉用时；
*.远程控制：可远程控制，查看设备运行情况或程序升级；
**.互锁功能：粗抽阀与前置阀互锁、维持泵阀与前置阀互锁；
充气阀与粗抽阀、冷阱阀、高阀、罗茨泵等互锁，上述阀门关闭后、罗茨泵降频才能充气；
粗抽阀、高阀、冷阱阀等与真空计实现程序保护功能，真空度不到，阀门不动作。

否决项：
*.供应商需要对所有技术条款提供有针对性的实现方案，并确认响应或偏离，如不提供，我方有权否决；
*.主材清单需要明确具体品牌、型号和数量，否则我方有权否决；
*.供应商提供的技术方案和参数不满足本项目要求，我方有权否决；
主要参数：*）极限真空：常温下空载测试，连续排气***，真空度小于等于*.******；
*）漏率：①极限真空后追踪*****（不开冷阱阀），漏率≤*.*****/*；
②极限真空后追踪*****（开冷阱阀），漏率≤*.*****/*；
*）抽速：漏率测试后，开门****，关门抽气****，真空度≤*.******；
*）实验性能：附着力测试、耐药品性能、高温实验合格
*）膜厚一致性：以铝靶为例，工装有效高度******内，从上到下取*个点，测量膜厚，同一炉****左右时，膜厚偏差≤***，不同炉同一位置膜厚偏差≤***
*）颜色一致性：以铬靶为例，工装有效高度******内，从上到下取*个点，测量***值，同一炉色差≤*.*，不同炉同一位置色差≤*
*） 维持泵：莱宝、普发、爱德华或同等品牌，双级旋片泵，抽速***/*以上，数量*台，配油雾过滤器
*）粗抽泵：莱宝、普发、爱德华或同等品牌，单级旋片泵，抽速****/*以上，数量*台
*）罗茨泵：莱宝、普发、爱德华或同等品牌，****时抽速*****/*以上，数量*台，配变频器（西门子、欧姆龙或同等品牌），使用频率最高****，可设置启动真空度，频率可在工艺参数里设置，待机状态频率**～****
**）分子泵：大阪、岛津或同等品牌，抽速≥*****/*，数量*台，配插板阀*只
**）低真空计：英福康、普发或同等品牌，测量范围*.**+***∽*.******，数量*只安装位置：真空室、冷阱、分子泵前级、硅油罐
**）高真空计：英福康、普发或同等品牌，测量范围*.***∽*.******，数量*只（*只为测量真空，一只作为参考校准用），安装位置：真空室顶部对称安装，带高真空截止阀（***或安捷伦），可随时开启
**）轰击电源：**、*********或同等品牌中频电源，功率****，电压最高*****
**）升压装置：升压倍数≥*
**）前灯装饰框（材料** ****）遮镀，表面镀单金属**铬，不透光，设备满载单炉时间≤**分钟；
*.供应商提供真空室布局图，关键部位提供结构图纸，我方有权否决。

注册资金≥****万元。

供应商必须具备汽车车灯行业溅射机销售业绩≥*份。

投标意向金：***（大写：人民币捌佰元整）