*：分子泵对氮气抽速不小于 ** */ * 。 *：分子泵对氢气压缩比不小于***** *：对氢气抽速不小于** */*。 *：抽气口为**** *****接口。 *：分子泵转速不小于********。 *：前级泵须双极油封旋片泵结构。 *：前级泵泵抽速不小于*.***/*。 *：噪音（在极限真空状态下运行时） 不大于****。 *：密封性（静态） 不大于****** ******/*。 **：控制器能显示真空度并控制分子泵启停。 **：配备宽量程真空计： ****： 压力测量范围 ******** ****。 ****：准确度：小于*** ****时通常为 **%，小于********时为**%。 **** ：最高烘烤温度（不带电子器件） **摄氏度。 **：配**障板。 **：定制泵组和传感器集成式控制，需要实现单按钮启动/停止系统。 **：报价需要提供的埃地沃兹（*******）公司证明。 **：交货周期：*周。 **：质保周期：*年。

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