基于SOI片的工艺服务(202506100019)结果公示
2025-06-13
浙江/宁波 中标结果
基于SOI片的工艺服务(202506100019)结果公示
浙江/宁波-2025-06-13 00:00:00
浙江/宁波-2025-06-13 00:00:00
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基于***片的工艺服务(************)结果公示
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独家采购公示一、采购人: 光电 **** 研究中心二、项目名称:基于 ***片的工艺服务三、采购内容:基于 ***片的工艺服务四、采购预算:**.****万元五、独家采购的说明:因光电 **** 研究中心开展研究项目需要,需定制化采购一批“基于 ***片的工艺服务”(总金额 ******.** 元)。经调研,仅有中科院上海微系统所 ****工艺技术平台的技术方案完全满足项目要求,且符合《独家采购说明》中“其他情况,一事一议,据理说明”的条件,特此申请将该平台拟定为独家供应商,原因如下:*.技术指标唯一性:工艺方案完全匹配项目需求(*)***** 沉积磷掺杂多晶硅并退火工艺①项目要求:原位掺杂含磷多晶硅厚度 ******,电阻率≤*.**Ω·**。②调研结果:仅中科院上海微系统所 **** 工艺技术平台的方案可完全满足,其工艺稳定性高,能确保批次产品一致性和可靠性,制备的材料电阻率严格控制在指标范围内。(*)**** 深硅刻蚀和 *** 刻蚀工艺①项目要求:硅基器件结构刻蚀深宽比需达 **:*。
②平台优势:深硅刻蚀深宽比可达 **:*(线条)和 **:*(孔),且设备传片托盘为*英寸,与项目晶圆尺寸匹配,刻蚀前无需使用泵油等导热剂粘片,可避免晶圆污染,完全满足洁净工艺要求。*.项目进度保障性,外部平台确保交付稳定性高项目计划于今年*月交付基于 ***的器件芯片。为规避浓硫酸等 ***清洗液短缺、微加工设备故障等突发因素对工艺进度的影响,需在甬江实验室外选择工艺条件稳定成熟的微纳平台作为保障。中科院上海微系统所 **** 工艺技术平台技术成熟、服务可靠,可有效降低项目延期风险,确保按时交付。综上所述,拟定以独家采购方式向中国科学院上海微系统与信息技术研究所采购基于 ***片的工艺服务。六、拟成交供应商信息:中国科学院上海微系统与信息技术研究所地址:上海市长宁路***号七、公示期限:从****年**月**日至****年**月**日止。八、对本次采购提出异议,请按以下方式联系:对公示内容有异议的,可在公告期内以有效形式提出:联系人:陈老师联系方式:********* ****联系邮箱:********@****.**.**投诉联系人:朱老师投诉联系方式:********* ****
投诉联系邮箱:*******@****.**.**
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