*)可替换单/双探头 *) 探头直径：≤*.*** *) 探头材料：钨 *) 探针是否柔性：是 *)柔性探针长度：＞****** *) 时间分辨率：≤**.*** *) 电流范围：*.*μ*—** *) 电压扫描范围：≥********** *) 测量电子温度：≥*.******** **) 测量等离子电位：≥********** **) 测量等离子密度：≥**^**/*³***^**/*³ **) 电子能量概率函数：********* **）同步脉冲信号：*** 输入 (**** ** * ***)，** **）适用等离子体类型：直流, 直流脉冲, 中频, 射频, 射频脉冲, 微波, 常压等离子体。

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