一：******** *****超精密加工设备年度保养服务内容为： *.更换静压油和油滤，清洁油箱 *. 更换机床气源滤芯、电脑防尘滤网 *. 检查供气气路和压力 *. 检查气囊和平台状态并做相应调整 *. 检查运动轴油孔压力并确保运行正常 *.更换主轴冷却水并检查制冷机工作是否正常 *. 嵩吉油浮导轨及周边 *. 检测主轴相对*轴几何精度 *. 检测***;***几何精度 **.检测主轴相对*轴几何精度 ** .检查电器柜内强电和弱电各单元供电电压是否正常 **. 更换电器柜**\制冷机灰尘过滤网 **. 检查光栅波形和电压是否正常 **. 检查机床轴控制精度，如必要可做精确调整 **.检查快刀伺服模块是否工作正常 **. 检查*轴回转是否工作正常 **. 检查***磨头是否工作正常 **. 检查机床各部位气压表压力是否正常 **. 检查设备内部震动是否正常 **.检查空调温度和湿度是否符合要求 **.提供年度保养所需材料，清单如下： 包括过滤网(电脑用)、过滤网(电柜用)、空气滤芯、空气滤芯、油滤、静压导轨油料、埃克森美孚维萝斯油**号和设备主轴冷水机恒温冷却液 ****** ******** *** 二、******** *****超精密加工设备固有精度校正服务内容为： *． *轴直线度 *. *轴直线度 *. ***轴垂直度 *. ***轴垂直度 *. ***轴垂直度

保养服务要求：供应商须严格依据设备原厂技术手册、国家及行业相关标准开展年度保养工作，确保完成项目内容中所有所有服务。保养过程中使用的所有零部件、润滑油、耗材等必须为原厂正品。 精度校正规范：固有精度校正工作需由具备专业资质且经验丰富的技术人员操作，使用高精度检测仪器，如激光干涉仪、球杆仪等进行校准。保证设备定位精度满足设备工艺要求。